气体质量流量控制器操作手册10/26/2005 Rev.4 DOC—ALIMAN16C保护你的权益和延长你的产品使用寿命设备应用的注意事项请不要随意拆卸，替换部件,或者执行未经认可的修正.这样会使产品失去保修。本设备无用户可维护部件,并且只能由厂家授权方维护或维修。不要在易爆，潮湿或腐蚀的环境下使用此产品。不要用于任何腐蚀性的气体，例如：氨,丙烯，HCI，SO2，H2S，NO2，NO，硅烷，氯,等等不要在流动气体，当水蒸汽凝聚成水，并堵塞产品内部的条件下使用此产品，这样会造成压力传感器的破坏不要使用一个量程范围超出实际测量值很多的流量计，例如,不要把 1000 升的量程用在 100升的应用上，这样会导致流量计达不到理想的精度。推断你的流量计量程，确定工况流量是流量计满量程的 70％左右.设备安装的注意事项不要快速的切断/开启阀，那样会致使流量计处在瞬时的高压下－(尤其重要的是低流量（50SCCM 和更低)和小流量的流量线路)，因为那样能造成差压传感器的损坏。在固定或移动配件时，不要让控制器的阀门处于受力状态-—阀门是一个精密设备，任何阀径的扭曲都会影响产品的控制性能。 不要让流量控制器的外壳置于任何液体中,因为本产品不具有防水的电气外壳。保证电源具有正确的正负极,电压和电流确保在使用一个 DC61 或其他钝切电缆时，在通电之前请认真检查你的接线线路。假如可能的话，请确保在设备的前端使用一个 20-50 微米）过滤系统(设备操作的建议确保质量和体积流量计的标定介质与测量介质一致。确保考虑到了当改变测量气体或测混合气体时，会减小质量和体积流量计的精度,和出现无法预测的结果.请查看手册中关于校正附备气体粘度的指示。确保设备不要使用在高压，或高背压的环境中。通常使用在 10～15 PSIG（0。66~1bar）的压力下。不可超过此压力，否则测量数据不准确，并且还会给仪表造成损害.确保设备常常复位，在复位的时候，应该确保此时绝对没有流量通过.（控制器将在设定点为零的时候自动复位）确保产品使用在 150PSIG 压力下。对于压力表和压力控制器，产品的压力应该在其满量程之内。产品特别指定，在低压使用时可能会减小耐压极限。确保产品在最佳性能下运行 确保可以调节你的控制器 P 和 D 阀参数设置，以便适应您的系统要求，注意调节前的最初设置永远不要在没有压力的情况下，来设置控制器的非零的设定点。这样的话，控制器会给阀门提供一个满电压,来达到这个设定点。这样会使阀门变得非常热而永久损坏确保根...
