课程设计目的与任务…………………………………………………………22
设计的内容……………………………………………………………………2 3
设计的要求与数据……………………………………………………………24
物理参数设计…………………………………………………………………3 4
1 各区掺杂浓度及相关参数的计算………………………………………3 4
2 集电区厚度 Wc 的选择……………………………………………………6 4
3 基区宽度 WB………………………………………………………………6 4
4 扩散结深…………………………………………………………………10 4
5 芯片厚度和质量…………………………………………………………10 4
6 晶体管的横向设计、结构参数的选择…………………………………105
工艺参数设计…………………………………………………………………11 5
1 工艺部分杂质参数………………………………………………………11 5
2 基区相关参数的计算过程………………………………………………11 5
3 发射区相关参数的计算过程……………………………………………13 5
4 氧化时间的计算…………………………………………………………146
设计参数总结…………………………………………………………………167
工艺流程图……………………………………………………………………178
生产工艺流程…………………………………………………………………199
版图……………………………………………………………………………2810
心得体会……………………………………………………………………2911
参考文献……………………………………………………………………30 PNP 双极型晶体管的设计1、课程设计目的与任务《微电子器件与工艺课程设计》是继《微电子器件物理》、《微