A.4.5取少量SiHCl3样品在预先准备好的小石英安瓿瓶内，用1ml注射器抽取SiHCl3液体样品约0.02ml，迅速注入进样口，样品在载气推动下送入色谱柱进行分离，通过检测器...本文档由YY198308收集整理。ICS71.060.10四川省区域性地方标准DBDB511100/T21-2010三氯氢硅Trichlorosilane2010-01-10发布2010-02-10实施四川省乐山质量技术监督局发布前言本标准按照GB/T1.1-2009《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》给出的规则起草。本标准的附录A、附录B为规范性附录。本标准由四川省乐山质量技术监督局提出。本标准由乐山市产品质量监督检验所归口。本标准起草单位：乐山市产品质量监督检验所、峨嵋半导体材料研究所、峨嵋半导体材料厂。本标准主要起草人：丁国江、胡乐莎、陈颖、张瑛、何兰英、文英、郑孝桃、张梅、李江涛本标准于2010年1月10日首次发布，2月10日实施。三氯氢硅1范围本标准规定了三氯氢硅的定义、技术要求、试验方法、检验规则、运输、贮存、标志、质量证明书和订货文件。本标准适用于氯化氢和工业硅合成的用于制备太阳能级、集成电路级硅多晶的三氯氢硅。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T2881工业硅GB5138工业用液氯GB/T7445纯氢、高纯氢和超纯氢3定义三氯氢硅（硅氯仿）：无色透明液体，极易挥发，易燃，具强腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤，溶于苯、醚等多数有机溶剂。熔点：-134℃，沸点：31.8℃。4技术要求4．1外观为无色透明液体。4．2三氯氢硅含量要求见表1表1三氯氢硅含量要求名称(V)要求（%）SiHCl3≥99SiH2Cl2＜1HCl＜1SiCl4＜1注：用户对产品的含量如有特殊要求，可由供需双方自行商定。4．3痕量杂质含量要求见表2表2痕量杂质含量要求名称(V)要求（ppba）B≤400Fe≤100Al≤30Cu≤20Cr≤20Ni≤20Co≤10Ca≤20Mg≤20续表2Zn≤10Mn≤20注：用户对杂质如有特殊要求，可由供需双方自行商定。其中P、C含量作为特殊要求。5试验方法5．1产品外观质量，目视检查。5．2三氯氢硅含量采用气相色谱测定三氯氢硅组分的检验方法（见附录A）。5．3三氯氢硅痕量杂质采用电感耦合等离子体光谱仪（ICP-OES）测定三氯氢硅痕量杂质的检验方法（见附录B）。6检验规则6．1组批产品应成罐（罐车）交验，每批应由同一工艺生产的产品组成。6.2判定每批产品取两个样（见附录C），一个用于三氯氢硅含量分析，另一个用于痕量杂质检验。6.2.1三氯氢硅含量分析，将样品进行三次分析，取其中分离度R高（R>1.5）的谱图报告数据，若不合格，允许再次取样分析，仍不合格则判定该批产品不合格。6.2.2痕量杂质检验将一个样品取2份同时进行检测，取值按照样品的平均值发报告，若其中有一个样品检测不合格时，允许再取2个试样进行重复检验。若仍有一个试样检验不合格，则判该批产品为不合格。6.2.3产品质量异议订购方对产品质量有异议，应于收货后三个月内向承制方提出，协商解决。7运输、贮存和标志7．1运输7．1．1本产品系高纯液态化学物质，采用有运输许可证的专用槽车装运。7．1．2槽草车上应标识“腐蚀”、“易燃”等标志。7．2贮存本产品系液体，20℃时密度为1.34g/cm3，折射率1.4—1.402，沸点为31.8℃，应用经过SiCl4和SiHCl3处理的不锈钢专用储罐储存，并贮存于清洁、通风良好、干燥阴凉处。产品有效期为一年。7．3标志产品标识应标明如下内容：a)“腐蚀”、“易燃”等标识，本产品代号为10025-78-2；b)有关化学品运输专用标志。8质量证明书和订货文件8.1产品质量证明书产品质量证明书应标明如下内容：a)合同号；b)产品名称；c)批号；d)净重；e)检验结果；f)检验日期；g)技术监督部门印记；h)本规范编号。8.2订货文件定单应载明下列内容：a)产品名称；b)产品数量；c)每槽车产品重量；d)包装方式；e)发货次数；f)发货日期；g)其它要求。危化品经营证c)附录A（规范性附录）气相色谱法测定SiHSl3含量的检验方法A.1原理选用高纯氢气做载气，待测样品进入汽化室后被瞬间汽化，在载气推动下，经过色谱分离柱，由于不同化合物的性质存在...
