单晶硅拉制工安全操作规程1．检查好晶轴、坩祸轴的旋转、升降是否灵活均匀
如果过紧时调节炉膛上的密封圈，紧固到不漏气为准
若拧时不漏气但旋转升降不灵活均匀，则要更换密封圈
2．真空泵运转的方向应按规定的方向旋转，否则可能引起机械泵油倒灌到扩散泵中去
若真空泵电动机电源线有松掉或断落现象时，应将真空泵和扩散泵连接的塑料管拉掉，调整电动机旋转方向
3．使用扩散泵必须避免油的氧化
4．封炉时须检查炉门橡皮是否有油污物，是否能起密封作用，同时检查炉膛内有没有多余物件
5．增温前要开冷却水，并检查水是否畅流，以防烧坏设备
6．运动部件如导轨、丝杠等经常要擦洗、润滑
籽晶轴和坩锅要经常用纱布酒精或甲苯擦干净
采用水冷却要防止漏水生锈
7．炉膛内要保持光亮清洁
，工作之后应及时清除氧化物，炉膛应常关闭
炉子不工作时，必须保持真空度，以使石墨件不受潮湿且能延长扩散泵使用寿命
8．密封圈和橡皮垫，切忌用油和酒精之类擦拭，也不得压得过紧
9．先开主机箱风扇电动机使风扇转动，风向向上，说明相序正确
再打开“增热”按钮
若发现相序不对，风扇不转，应立即停止增热排除故障
10．首先将细调调至中间位置进行主回路送电
打开操纵台上的总电源开关，操纵台上各个开关与相应的部分应正常工作
总励磁有指示才能开直流电动机(籽晶、坩埚、轴)
11．主机箱中因有鼓风机振动，每隔一段时间应打开箱子检查各螺钉是否有松动现象，如有松动应立即拧紧
12．操纵台的边线有其相位关系，操纵台与回路之间也有同位关系，一经调好之后，就不要再动
检查修理时若要拆线必须做好标志，以免搞错
13．用化学方法腐蚀已清洗完毕的多晶硅(回炉多晶)后，要每块仔细地检查有无氧化物，若有蚀渣氧化物须重新腐蚀
14．装料时必须检查石英坩埚有无裂纹，有无白点和气泡，装料要装稳
15．籽晶必须装牢，也不得装歪(偏离轴心线不大于3℃)
16．装炉时必须检查炉内石
