第1页共9页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第1页共9页一〉流程:磨板→贴膜→曝光→显影一、磨板1、表面处理除去铜表面氧化物及其它污染物
硫酸槽配制H2SO41-3%(V/V)
酸洗不低于10S
2、测试磨痕宽度控制范围10-15mm,磨痕超过15mm会出现椭圆孔或孔口边沿无铜,一般控制10-12mm为宜
3、水磨试验每日测试水膜破裂时间≥15s,试验表明,在相同条件下磨痕宽度与水膜破裂时间成正比
4、磨板控制传送速度1
5M/min,间隔1",水压1
5bar,干燥温度70-90℃
二、干膜房第2页共9页第1页共9页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第2页共9页1、干膜房洁净度10000级以上
2、温度控制20-24°C,超出此温度范围容易引起菲林变形
3、湿度控制60-70%,超出此温度范围也容易引起菲林变形
4、工作者每次进入干膜房必须穿着防尘服及防尘靴风淋15-20s
三、贴膜1、贴膜参数控制a
温度100-120°C,精细线路控制115-120°C,一般线路控制105-110°C,粗线路控制100-105°C
速度<3M/min
压力30-60Psi,一般控制40Psi左右
2、注意事项a
贴膜时注意板面温度应保持38-40°C,冷板贴膜会影响干膜与板面的粘接性
贴装前须检查板面是否有杂物、板边是否光滑等,若板边毛刺过大会划伤贴膜胶辊,影响使用寿命
在气压不变情况下,温度较高时可适当加快传送速度,较低时可适当减慢传送速度,否则会出现皱膜或贴膜不牢,图形电镀时易产生渗镀
切削干膜(手动贴膜机)时用力均匀,保持切边整齐,否则显影后出现菲林碎等缺陷
贴膜后须冷却至室温后方可进行曝光
四、曝光1、光能量第3页共9页第2页共9页编号:时间:2021年x月x日书山