热式质量流量控制器的选择方法◆常用热式质量流量控制器的种类§通用热式质量流量控制器价格便宜,反应速度较慢S49-334秒,S49-32§高性能热式质量流量控制器价格较高,反应速度快S49-312秒,S49-301秒§金属密封热式质量流量控制器耐污染,多用于大规模成电路制造§数字式热式质量流量控制器反应速度快,可直联计算机§MEMS热式质量流量控制器反应速速最快,不耐污染§其他Fcs等◆模拟式流量控制器在挑选时应该注意的几个问题§死区问题§过冲问题§反应速度及电气特性问题◆汇博隆仪器公司在设计中采用的先进技术§内镜面的毛细管§改厚度为0
1mm的极薄0
05mm的毛细管,使热传导透过的速度增加了一倍
§viton®密封材料◆旧型S49-33流量控制器的反应特性,开启时(如下图)绿色线为预设定流量;蓝色线电气输出信号,红色线为实际流量信号在我公司早期流量计设计中,采用了电特性,气特性的概念,这是在模拟电子线路的设计中,不能够设计出准确反映气特性的电路时的说法
在我公司新的设计理念中,已经合为一个,这也和国际的通用说法相一致了
◆S49-33流量控制器的反应特性,开启时(如下图)绿色线为预设定流量;蓝色线电气输出信号,红色线为实际流量信号◆S49-31型流量控制器的反应特性,开启时(如下图)绿色线为预设定流量;蓝色线电气输出信号,红色线为实际流量信号◆使用32位40MHz计算机和1MIPS12位AD/DA转换器的优点:32位40MHz的计算机的指令执行周期,相当于8位机的0
1us;12位ad/da意味着他的采样、控制精度达万分之3,也就是说,在1微秒的单位中,检测出万分之3的变化
这对于国内机械制造工艺落后于电子设计的情况下,非常有利
精确的测量流量的微小变化,在去除噪音的同时,及时地校正和控制气体的流量
◆S49-300系列数字式质量流量控制器和质量流量计特点:§首次采用当今