第1页共16页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第1页共16页MEMS陀螺仪传感器产业探究目录：一、MEMS陀螺仪市场现状...........................................................................................2第一节、MEMS主要厂家产品资料汇总................................................................2第二节、MEMS在我国的产业现状........................................................................2二、MEMS陀螺仪介绍...................................................................................................3第一节、什么是微机械（MEMS）？.....................................................................3第二节、微机械陀螺仪（MEMSgyroscope）的工作原理.................................3第三节、微机械陀螺仪的结构.............................................................................4三、MEMS技术的加工工艺...........................................................................................6第一节、体加工工艺.............................................................................................6第二节、硅表面微机械加工技术.........................................................................7第三节、结合技术.................................................................................................7第四节、逐次加工.................................................................................................8第五节、LIGA工艺................................................................................................8第六节、THEMLA工艺流程....................................................................................9四、基于DSP的MEMS陀螺仪信号处理平台设计.......................................................9第一节、MEMS陀螺仪信号处理平台的硬件结构................................................9第二节、MEMS陀螺仪信号处理平台系统任务分析..........................................10第三节、MEMS信号处理平台软件设计方案......................................................11五、基于GPS的汽车导航系统的设计与实现..........................................................12第一节、主体控制方案.......................................................................................12第二节、GPS定位系统设计................................................................................13第三节、车体部分MCU主控模块设计..............................................................14第四节、系统软件设计.......................................................................................14第2页共16页第1页共16页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第2页共16页一、MEMS陀螺仪市场现状MEMS陀螺仪即微机电系统陀螺仪，是一种微型传感器，主要用于手机及游戏机等领域。与普通芯片相比，除计算功能外，此产品还具有感知功能，通过内置的陀螺仪传感器可以感知外界运动，并做出相应反应。在具体应用上，MEMS芯片可以用在消费类电子产品上，比如游戏机中的动作控制；可以用在汽车安全领域，在汽车出现紧急情况时及时作出反应；在军事、航海中，陀螺仪被用来导航。此前全球针对消费电子产品的陀螺仪厂商只有意法半导体（ST）、飞思卡尔半导体（Freescale）两家，深迪半导体（http://www.senodia.com）成为第三家，打破了国内众多消费电子厂商陀螺仪全部依赖进口的局面。深迪半导体成立于2008年8月，目前在国内还没有竞争对手。根据著名市场研究顾问机构YoleDevelopment的最新预测，MEMS陀螺仪、加速度计和IMU的销售额在2013年将达到45亿美元的规模，在消费类应用市场的年增长率达到...
