第1页共3页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第1页共3页《半导体器件电子学》教学大纲课程编号:MI3221009课程名称:半导体器件电子学英文名称:ElectronicsofSemiconductorDevices学时:46学分:3课程类型:限选课程性质:专业课适用专业:微电子学先修课程:固体物理,半导体物理开课学期:6开课院系:微电子学院一、课程的教学目标与任务目标:本课程是微电子学专业的基础课
通过本课程的学习,掌握金属-半导体接触、半导体表面及MIS结构、异质结,半导体的光、热、磁和压阻等物理物理与电学特性,为后续课程的学习打好基础
任务:以半导体的晶体结构和能带理论、载流子的输运理论为基础,系统掌握金属半导体接触、异质结、半导体表面及MIS结构等的基本概念、基本物理与电学特性,熟悉半导体光、热、磁、压阻等各种物理现象,了解金属-半导体接触、MIS结构、异质结的应用及其当前的技术发展
二、本课程与其它课程的联系和分工本课程的先修课程是固体物理、半导体物理
三、课程内容及基本要求(一)金属和半导体的接触(8学时)具体内容:金属半导体接触及其能级图,金属半导体接触整流理论,少数载流子的注入和欧姆接触
基本要求(1)掌握金属半导体接触所形成的能级图
(2)掌握金属半导体接触整流理论
(3)熟悉少数载流子的注入和欧姆接触
重点、难点重点:掌握金属半导体接触所形成的能级图
难点:金属半导体接触整流特性
说明:金属半导体接触在半导体器件和集成电路的制作中具有很重要的作用,在超高频和大功率器件中,欧姆接触是设计和制造中的关键问题之一
(二)半导体表面与MIS结构(10学时)具体内容:表面态、表面电场效应,MIS结构的电容-电压特性,硅-二氧化硅系统的性质,表面电导及迁移率,表面电场对p-n结特性的影响
基本要求(1)熟悉表面态的概念