第1页共9页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第1页共9页旧底图总号底图总号第2页共9页第1页共9页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第2页共9页日期签名第3页共9页第2页共9页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第3页共9页旧底图总号底图总号日期签名第4页共9页第3页共9页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第4页共9页旧底图总号底图总号日期签名净化工作台插片插片时必须穿好洁净工作服。第5页共9页第4页共9页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第5页共9页旧底图总号底图总号日期签名片盒石英舟，每个槽插两片硅片严禁裸手操作，一定要戴好乳胶手套，且不得用手直接接触硅片和石英舟。石英吸笔，从片盒中吸取硅片插到石英舟内。移动、放置石英舟时，一定要小心轻放！上桨第6页共9页第5页共9页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第6页共9页旧底图总号底图总号日期签名碳化硅桨，易碎安装、拆卸时切勿碰撞！触摸屏匀流板距离13cm第7页共9页第6页共9页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第7页共9页旧底图总号底图总号四探针测试台四探针主机扩散面朝上如实填写《方块电阻记录表》，如有异常情况及时通知工艺人员。测量第8页共9页第7页共9页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第8页共9页日期签名卸片台，不得放置异物，以免污染硅片！承载盒扩散面一律朝上！卸片第9页共9页第8页共9页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第9页共9页旧底图总号底图总号日期签名
