ESDControlESDControl静电控制静电控制静电控制静电控制静电控制静电控制静电控制静电控制ESDControl静电的概念静电的概念静电的概念静电的概念静电的概念静电的概念静电的概念静电的概念ESDBasicKnowledgeESDBasicKnowledgeESDESD基础知识基础知识基础知识基础知识基础知识基础知识基础知识基础知识�静电就是静止的电荷静电就是静止的电荷静电就是静止的电荷静电就是静止的电荷,,,,就是物体表面有多余就是物体表面有多余就是物体表面有多余就是物体表面有多余的电荷的电荷的电荷的电荷((((正电荷或负电荷正电荷或负电荷正电荷或负电荷正电荷或负电荷))))存在存在存在存在
静电产生的方法静电产生的方法静电产生的方法静电产生的方法::::�摩擦摩擦摩擦摩擦�相接触的两个物体发生分离相接触的两个物体发生分离相接触的两个物体发生分离相接触的两个物体发生分离�静电感应产生静电静电感应产生静电静电感应产生静电静电感应产生静电�特殊真空工序特殊真空工序特殊真空工序特殊真空工序Page1ESDControl静电产生的物理解释静电产生的物理解释静电产生的物理解释静电产生的物理解释静电产生的物理解释静电产生的物理解释静电产生的物理解释静电产生的物理解释结果结果结果结果::::带带带带正正正正的静电荷的静电荷的静电荷的静电荷结果结果结果结果::::带带带带负负负负的静电荷的静电荷的静电荷的静电荷相接触的两个相接触的两个相接触的两个相接触的两个物体发生分离物体发生分离物体发生分离物体发生分离ESDBasicKnowledgeESDBasicKnowledgeESDESD基础知识基础知识基础知识基础知识基础知识基础知识基础知识基础知识Page2ESDControlESDBasicKnowledgeESDBasicKnowledgeESDESD基础知识基础知