KT1000PV装置紹介資料2011年9月6日Kanken北京康肯環保設備有限公司１尾气处理气体种类及流量处理效率及排气浓度１．尾气处理气体种类及流量处理效率及排气浓度气体名称最大流量/台平均流量/台气体DRE排气浓度PN2100100单台非晶PECVD设备使用的气体种类及峰值流量如下表所示：PurgeN2100100H2209H2＞99%<1000ppmAr121SiH463SiH4＞99.9%<5ppm20%GeH4/H22.50.07GeH4＞99.9%<0.2ppm20%PH3/H220.04PH3＞99.9%<0.3ppm3%TMB/SiH420.03TMB＞99.9%<0.3ppmCH4161CH4161CH4＞99%<1000ppm废气7030SiO2<1mg/m3，且粒径<0.5µmtotalflow230.5144.14２．設備の構成２．設備の構成FAB1安装42台非晶PECVD设备，FAB2安装42台非晶PECVD设备PECVD設備：7台×6Sets＝42台KT1000PV：反応器Unit＝6台集塵機Unit＝6台流程图流程图全体平面图集尘器外形图集尘器外形图反应炉外形图反应炉外形图３．設備仕様３．設備仕様1反应炉单元最大流量要求流量最大流量要求:H2流量≤1000Liter/minN2流量≤1600Liter/min(仅只有N2时)*需提供工艺设备处的SiH4和H2的on/off信号.可处理气体:H2,SiH4,GeH4,PH3,B2H6,TMB,CH4etc.加热器最大功率3375kW加热器最大功率:33.75kW温度范围:600‒1,100℃(最高1,300℃)工艺气体进气口：4个（３用１备）进气管道规格:50A×4（日标）10K法兰形式排气管道规格10”（日标）10K法兰形式排气管道规格:10”（日标）10K法兰形式外形尺寸:2,700Wx1,600Dx2,700Hmm净重:约2,500kg2集尘器单元2集尘器单元最大流量:53m3/min气体通过集尘器的最高温度:180℃进气管规格Φ250（日标）10K法兰形式进气管规格:Φ250（日标）10K法兰形式排气管道规格:Φ500（日标）外形尺寸:2,500Wx2,500dx6,500hmm(含过滤器单元、排气风机和控制箱)净重（单台）:约2,000kg４．设备动力规格４．设备动力规格設備名称动力设计值运行值設備名称动力设计值运行值供电AC380V,50Hz,3φ99kVA*(1)约25kW(非工艺生产时)约7kW(工艺生产时)反应炉单元冷却水≧0.3Mpa水温≤35℃全硬度≤60100LPM约20LPMN2氮气04MP08MP50LPM10LPMN2氮气0.4MPa-0.8MPa50LPM10LPM处理后排气最大53m3/min箱体排气5m3/min緊急排气系统紧急用氮气0.5MPa-0.8MPa1000LPM1000LPM集尘器单元供电AC380V,50Hz,3φ49kVA*(1)15kW集尘器单元CDA（压缩空气）0.5MPa-0.8MPa1000NLPM500NLPMKT1000PV原理介绍从CVD工艺设备过来的废气SiH4H2etc在最终排气前，通过稀释空气将排气冷却至100℃，并通过排气风机排出稀释空气入口工艺设备风机排气风机SiH4,H2etc.反应空气从此处进入集尘器单元粉在被住风机不锈钢管反应炉单元集尘器单元处理后废气中的粉尘在此处被挡住，并收集在集尘袋中。通过电加热器使反应炉温度达到800℃左右，使得废气在反应炉内与反应空气中的氧气发生如下反应：SiH4+O2→SiO2氧化铝陶瓷SiH4+O2→SiO22H2+O2→2H2O风机电加热器：陶瓷纺织物风机通过风机往反应炉内提反应所生成的粉尘（如SiO2）被收集在不锈钢本体结构钢本体通过风机往反应炉内提供冷却用常温空气，用来冷却处理后的气体此处的集尘袋内。集尘袋可更换。反应炉单元反应炉单元尾气处理入口排气出口BkU逆火検知BackUp电加热刮刀反应空气风机反应炉电加热反应空气风机冷却风机热酸化分解反应式热酸化分解反应式酸素混入厳禁！H2+1/2O2→H2OSiH4+2O2SiO2+2H2OSiH4+2O2→SiO2+2H2OPH3+2O2→1/2P2O5+3/2H2OCH4+2O2→CO2+2H2OGeH4+2O2→GeO2+2H2O+反応熱GeH4+2O2→GeO2+2H2OTMB（B（CH3）3）+6O2→1/2B2O3+3CO2+9/2H2O通过H2和SiH4信号控制通过H2和SiH4信号控制如果信号与排气不一致，无法正常安全处理反应炉反应炉450尾气处理生成熱35.040.045.0Heater負荷多少20.025.030.0ｋW/hr多少10.015.0ｋ0.05.01234567PECVD稼働台数PECVD稼働台数H2燃焼生成熱SiH4燃焼生成熱CH4燃焼生成熱合計生成熱CVD运行台数（DEPO-Gas量）越多Heater負荷越少．电热，保护管交换周期电热，保护管交换周期現在変更現在変更电热陶瓷管两年年特殊陶瓷保护管陶瓷管一年一年金属保护管半年～八ヶ月特殊陶瓷保护管陶瓷管电热电热金属保护管电热14集尘器集尘器GASOUTLETCDA逆洗GASOUTLET逆洗GASINLET濾布濾布粉尘回收罐排气风机...
