110电子工艺技术ElectronicsProcessTechnology第3l卷第2期2010年3月LCD玻璃研磨机的工艺探讨冯振华,白变香(中国电子科技集团公司第二研究所,山西太原030024)摘要:在介绍LCD玻璃基板研磨工艺流程及关键工艺技术要求的基础上,以自行研制的YM一950玻璃研磨机为例,探讨了获得研磨后最优玻璃表面平整度与粗糙度的研磨垫粗糙度、转盘旋转速度和上下研磨盘匹配的工艺参数
在YM一950玻璃研磨机上应用这些参数试制,可高速地获得优良的表面粗糙度
关键词:研磨;平整度;粗糙度;LCD中图分类号:TN105文献标识码:A文章编号:1001—3474(2010)02—0110—03ProcessDiscussionofLCDGlassLappingMachineFENGZhen—hua,BAIBian—xiang(CETCNo.2ResearchInstitute,Taiyuan030024,China)Abstract:RegardingtheYM一950glasslappingmachinedevelopedindependentlyasanexample,introducethelappingprogressandkeytechnicalrequirements.Discusstheoptimalparameterssuchastheturntablerotatingspeed,ronghnessoflappingsheetandSOon,inordertogetexcellentflatnessandrough—ness.Makethetrialproductionbasedontheparameters,getbothhighspeedandoptimalroughness.Keywords:Lapping;Flatness;Roughness