第1页共5页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第1页共5页研究前言1(一)报告目的(ObjectiveofReport)1(二)研究范围(ResearchScope)4(三)研究区域(SurveyRegion)8(四)数据来源(DataSource)9(五)研究方法(ResearchApproaches)10(六)一般定义(GeneralDefinition)10(七)市场定义(MarketDefinitionofCCID)12(八)特别说明(Specification)13(九)研究对象(ResearchObject)一、2002年中国半导体设备市场环境综述14(一)半导体设备分类与技术发展现状16(二)世界半导体设备市场概况19(三)中国半导体设备产业及市场环境191、产业环境212、市场环境二、2002年中国半导体设备产业现状分析24(一)中国半导体设备的现状29(二)国内各主要半导体设备生产情况291、材料制备设备312、前工序设备333、后工序设备344、其他设备36(三)国内主要半导体设备生产厂家361、西安理工大学晶体生长设备研究所目录第2页共5页第1页共5页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第2页共5页372、中国电子科技集团第四十五研究所383、中国电子科技集团第四十八所404、北京七星华创电子股份公司425、北京北仪创新真空技术有限责任公司436、中国科学院光电技术研究所(简称成都光电所)457、西北机器厂(七0九厂)468、铜陵市三佳电子(集团)有限公司479、北京华兴微电子有限公司4810、国投南光有限公司4911、四川南光真空科技有限公司4912、深圳波达超声工程设备有限公司5013、深圳丰德微电子有限公司5114、青岛旭光仪表设备有限公司5115、青岛旭升专用仪表设备有限公司5116