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赛维LDK太阳能高科技(合肥)有限公司文件编号文件名称扩散CT工艺规程生效日期2011-01-06页码第1页共10页1、目的:建立正确操作扩散CT扩散炉的工艺的规范,以保证扩散的质量及保护机器和人身安全。2、范围:本指导书适用于扩散CT扩散炉工艺规程。3、工艺人员职责3.1负责扩散工序生产工艺运行的正常性、稳定性。3.2负责部门内工艺运行原始资料的累积,保管,随时检查工艺运行状态,并记录异常,积极处理工艺异常。3.3负责应对CT扩散炉设备常见、突出、重大的工艺异常,制定落实整改措施、预防措施、应急方案。4、工艺生产4.1检查“Slider”是否在上料位置,若不在,手动状态下移到上料处:“Manual/Slider/toport”(图1)。把插好硅片的舟放到“slider”上。尽量使舟在“slider”中间位置(图2)图1图24.2在“Setup”界面选择“Boat”项(图3),选择一个舟号,进行工艺信息编辑。4.3选择确定后,进入“boatactivation”界面(图4),点选“Setboatactiveforhandling”、“Setboatto‘Readyforprocessing’和‘Boatwillberemovedforunload’”复选框,再点击“Next”按钮。赛维LDK太阳能高科技(合肥)有限公司文件编号文件名称扩散CT工艺规程生效日期2011-01-06页码第2页共10页图3图44.4进入“Handlinginformation”界面(图5),把舟上的编号输入到“BoatID”一栏,同时选择Loadposition为“Slider”,再点击“Next”按钮。4.5进入“Processtubeselection”界面(图6),选择需运行工艺的管号,在正常情况下1-4管全部选中,再点击“Next”按钮图5图64.6进入“Boatinformation”界面(图7),在Actualboatlocation位置选择“Slider”,在Boatstate位置选择“Waitfortube”,再点击“Next”按钮。4.7进入“Processinformation”界面(图8),选择相应的运行工艺名,在“Lotsinboat”中输入相关舟的信息,再点击“Finish”按钮。赛维LDK太阳能高科技(合肥)有限公司文件编号文件名称扩散CT工艺规程生效日期2011-01-06页码第3页共10页图7图84.8进入“Summary”界面(图9),显示每一步输入的信息,核对无误后,点击“OK”,信息输入完成。4.9在“Job”页面点击然“Run”按钮(图10),回到自动运行状态。机械手自动送舟到SiC桨上,开始运行工艺。图9图104.10当某一管的“Tubestate”(图11)显示蓝色时,需要人工输入信息,打开相应管的CESAR界面。4.11在红色的对话框“Adjusttemperature?”中(图12)输入需要修改的温度或默认值,再在键盘上点击“Enter”键。图11图12赛维LDK太阳能高科技(合肥)有限公司文件编号文件名称扩散CT工艺规程生效日期2011-01-06页码第4页共10页4.12在弹出的红色对话框“Adjustdiffusiontime?”中(图13)输入需要修改的时间或默认值,再在键盘上点击“Enter”键。4.13在弹出的红色对话框“Adjustdriveintime?”(图14)中输入需要修改的时间或默认值,再在键盘上点击“Enter”键,信息输入完毕,桨自动送舟到石英管,开始扩散工艺。图13图144.14当工艺运行完,自动取舟到“Storage”位置冷却;冷却后“Slider”自动取舟到下料位置并伴有蜂鸣提示,进行取舟卸片和测试方块电阻;再放上需要扩散的舟。4.15同时CMI电脑弹出“BoatInfo”界面(图15),点击“Unloaddone”按钮,在软件中完成卸舟信息。4.16进入“BoatInfoModeSelect”界面(图16),选择“Wafer(Productionwaferwithhostvalidation)”项,点击“OK”按钮图15图164.17进入“MaterialLoading”界面(图27),在“Boat”输入舟编号,在“Lot”输入舟相关的信息,同时弹出“Recipe”项,选择相应的工艺名,点击“Loaddone”按钮,机械手自动上料,工艺运行开始赛维LDK太阳能高科技(合肥)有限公司文件编号文件名称扩散CT工艺规程生效日期2011-01-06页码第5页共10页图175、工艺控制5.1工艺参数及流程扩散工艺温度:(850±10)℃;POCL3源温:20℃R□:多晶:(待定)Ω/□)操作状态进炉恒温磷扩散恒温(推进)出炉冷却运行时间(min)气体N2O2N2O2N2O2小N2N2O2N2O2N2O2流量(L/min)5.2工艺测试及调试5.2.1工艺测试主要是R□,所要设备是广州半导体四探针测试仪,使用方法如下:打开电源开关...

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