1/8超硬涂层知识图文并茂详解（6 种）Superhardcosat[ay«rBaseFRm超硬涂层材料通常由 III、W 和 V 主族元素构成的单质或共价键化合物组成，目前能够满足这个标准的材料有金刚石、类金刚石（DLC）、立方氮化硼（cBN）、碳化氮（CN）等。34利用 PVD 或 CVD 法将这些材料沉积到基体表面即可获得超硬涂层，这种涂层不但具有与材料本身同样的优良特性，如极高的硬度、极低的摩擦因数、极强的耐磨和耐腐蚀性能、良好的导热和化学稳定性能、高的禁带宽度等，而且其实用性较材料本身更强。1）、金刚石涂层金刚石是自然界中已知硬度最高的物质，此外它还具有低的摩擦因数、高的弹性模量、高的导热系数、高的声传播速度、宽的能带隙以及良好的化学稳定性等，然而天然金刚石的存量及价格限制了它的大规模商业化应用。目前一般会采用 CVD 法制备金刚石涂层，它具有与天然金刚石2/8常多，如下图所示:「髙性能探测、器利传感器等/丈功率集成\「咏附i 速＜计算机等/F 红外、高功率微波、JL 射线等窗厂薄膜涂层'工具〔切削刀具、拉22＜模芯等髙性能声表面波器件磨料磨/发蚯二极管'场效应管 r 热\敏电阻等丿（CVD 金刚可洛以的应川丿岭非常相近的物理和化学性能，根据金刚石的晶粒尺寸，可以将 CVD金刚石涂层分为微米晶金刚石（MCD）涂层和纳米晶金刚石（NCD）涂层，其中，晶粒尺寸小于 10nm 时，被称作超纳米金刚石（UNCD）涂层。CVD 金刚石涂层制备技术已取得了非常大的进展，部分产品已进入产业化推广阶段，并形成了一定的市场规模，应用领域非2）、类金刚石（DLC）涂层利用离子束沉积技术制备了一种化学组成、光学透过率、硬度3/8以及耐磨损等性能与金刚石相近的非晶碳涂层。这种碳涂层具有以 SP3键碳共价结合为主体，混合有 SP2键碳的亚稳态长程无序立体网状结构，被称为类金刚石（DLC）涂层。由于 DLC 涂层中既有类似于金刚石的 sp3键合形式，又有类似于石墨的 sp2键合形式，因而其结构和性能介于金刚石和石墨之间。DLC 涂层具有与金刚石涂层非常相近的性能，即极高的硬度、电阻率、导热系数、电绝缘强度、高红外透射性以及光学折射率，同时具有良好的化学稳定性和生物相容性等，在机械、电子、光学、声学、计算机以及生物医学等领域有着广阔的应用前景。不过受沉积方式和环境的影响，DLC 涂层中还可能含有氢等杂质，含各种 C-H 键，因此不同的制备方法和工艺条件对涂层的性能，4/8尤其是硬度的影响很大。DLC 涂层的制备方法...
