8．1．2 硅中氧的测量 硅中氧的测量主要有四种方法。一种是熔化分析法(Fusion Analysis，FA)，这是早期用来测量氧浓度的方法。它是将硅...
硅中氧、碳及其含量测定硅中氧、碳及其含量测定1.硅晶体中的氧直拉硅单晶中不可避免地存在氧。尽管氧的含量不高，在百万分之二十（20ppma）...
