纳米多孔金薄膜及其微电极结构的制备--20141220VIP

纳米多孔金薄膜及其微电极结构的制备曾志刚，周海军，龙啸，郭二娟（上海大学理学院，上海200444）摘要：本文结合光刻和溅射等MEMS工艺和去...