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  • nc-SiH薄膜的结构特征和光电特性.doc

    nc-SiH薄膜的结构特征和光电特性.doc

    nc-Si:H 薄膜的结构特征和光电特性本工作采纳了射频等离子体增强型化学气相沉积(RF-PECVD)技术,以SiH4 和 H2为反应气体源...

    2025-09-11发布150 浏览2 页20 次下载13.5 KB
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