声 表 面 波 工 艺 原 理 第 三 章 光 刻 工 艺 原 理 Page 1 of 20 三 ， 声 表 器 件 光 刻 工 艺 原 理 ： 目 录 ： （ 一 ） 光 刻 胶 ： 1， 正 性 光 刻 胶 2， 负 性 光 刻 胶 3， 光 刻 胶 的 性 质 （ 二 ） 光 刻 工 艺 原 理 （ 湿 法 ）： 1， 匀 胶 ： 1） 匀 胶 方 法 2） 粘 附 性 3） 光 刻 胶 的 厚 度 4） 膜 厚 均 匀 性 5） 对 胶 面 要 求 6） 注 意 事 项 2， 前 烘 ： 1） 前 烘 目 的 2） 对 前 烘 温 度 和 时 间 的 选 择 3） 前 烘 方 法 3， 暴 光 ： 1） 暴 光 目 的 2） 暴 光 技 术 简 介 3） 暴 光 条 件 选 择 4） 暴 光 不 良 原 因 4， 显 影 ： 1） 显 影 目 的 2） 显 影 方 法 3） 影 响 显 影 质 量 的 因 素 4） 常 见 问 题 5） 其 它 5， 坚 膜 ： 1） 坚 膜 目 的 2） 坚 膜 方 法 3） 问 题 讨 论 6， 腐 蚀 ： 1） 腐 蚀 目 的 2） 腐 蚀 因 子 3） 腐 蚀 方 法 4） 影 响 因 素 5） 注 意 事 项 7， 去 胶 ： 1） 去 胶 目 的 2） 去 胶 方 法 3） 注 意 事 项 8， 问 题 分 析 ： 1） 光 刻 分 辨 率 2） 控 制 光 刻 线 宽 的 方 法 3） 浮 胶 4） 毛 刺 及 钻 蚀 5） 小 岛 6） 针 孔 9， 小 结 （ 光 刻 各 工 序 需 控 制 的 工 艺 参 数 ） （ 三 ） 光 刻 工 艺 原 理 （ 干 法 ） 简 介 ： 1， 干 法 腐 蚀 原 理 ： 1） 等 离 子 体 腐 蚀 2） 离 子 腐 蚀 3） 反 应 离 子 腐 蚀 2， 干 法 工 艺
