干涉儀之分類 一些傳統的干涉儀使用非同調光（通常是單色光）即可進行量測，但是由於光源同調性差，因此操作的人原不但須對干涉理論有所認識，而且也要對儀器有良好的熟練度。 1960 年高強度同調性(Coherence) 光源的雷射問世後，干涉儀才開始蓬勃地發展；干涉儀可按照形成干涉的光束數目分為雙光束及多光束兩大類，雙光束干涉儀所產生的條紋其亮度多呈正弦曲線的分佈情形，例如太曼格林 (Twyman Green) 干涉儀、菲索 (Fizeau)干涉儀、麥克詹達干涉儀 (Mach-Zender)、剪像(shearing)干涉計及麥克森 (Michelson) 干涉儀，皆屬於此種雙光束干涉方式，而多光束干涉儀之條紋亮度分佈情形也是週期性的，但卻呈狹窄的亮帶，如梳狀脈衝波形(Dirac comb)，有名的法布里－派洛 (Fabry-Perot)干涉儀即屬此類。多光束干涉儀通常是由非常的光束干涉而形成，至於三光束或四光束的干涉儀通常視為雙光束干涉儀的同類，因為它們的干涉條紋特性很相近。干涉儀的另一種分類方式是依據光波分割 的情形亦 即分為波前 分割 與 振 幅 分割 兩種型 式。波前 分割 是指 光束的波前 經 過 了 同一平 面 的一系 列 狹縫 而產生分割 ，例如以 雙稜 鏡 或光柵 來 把 一道 光分成二 部 分。振 幅 分割 則 是以 部 分反 射裝 置 來 區 分其振 幅 大小 成二 部 分，例如光束經 過 了 類似 分光鏡 的界 面 而分成兩道 光 菲索干涉儀 菲索干涉儀（圖 1）又 可稱 為光學 平 板 ，通常用來 檢 驗 經 過 研 磨 或拋 光加 工 的工 件 ，例如測微 器砧 座 、精 測塊規 、卡 規 、精 密 研 磨 平 面 、光學 玻 璃 皆可使用菲索干涉儀來 檢 驗 。其加 工 狀況 。利 用菲索干涉儀作檢 驗 的工 件 ，表面 須經 過 研 磨 或拋 光加 工 ，以 求 工 件 表 面 之反 射光線有足 夠 強度，以 便 與 菲索干涉儀的作用面 所反 射光線相干涉而形成色帶，因此一般 加 工 表 面 ，因為表 面 不光滑 或太粗 糙 ，工 件 表 面 之反 射光線太弱 ，與 菲索干涉儀的作用面 所反射光線相干涉而形成色帶也太弱 而無 法分辨 ，另外 ，工 件 表 面 太粗 糙 時 ，空 氣 楔 間 隔 也太大，造 成條紋太密 ，以 致肉 眼 無 法觀 察 。 圖 1 菲索干涉儀 菲 索 干 涉 儀 利 用 光 波 干 涉 原 理 而 形 成 ...
