下载后可任意编辑电子特气行业市场高度集中一、电子特气应用在电子半导体领域中,电子特种气体(电子特气),是大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产中不可或缺的基础和支撑性材料之一
电子特气在工业气体中属于附加值较高的品种,与传统工业气体的区别在于纯度更高(如高纯气体)或者具有特别用途(如参加化学反应)
电子特种气体涉及集成电路、面板、光伏和光纤制造的多个环节,是制造过程中的关键材料,其质量直接影响电子器件的良率和性能
目前,应用于半导体产业的各个环节的特种气体有 110 余种,常用的有 20-30 种
电子气体在多个集成电路制造环节具有重要作用,尤其在半导体薄膜沉积环节发挥不可取代的作用,是形成薄膜的主要原材料之一
液晶显示器分类种类众多,其中 TFT-LCD 的反应时间快、成像质量高、且成本逐渐降低,是目前应用最广泛的 LCD 技术
TFT-LCD 面板的制造过程可分为三大阶段:前段阵列工(Array)、中段成盒工序(Cell)以及后段模块组装工序(Module)
电子特气主要应用于前段阵列工序的成膜和干刻阶段,经过多次成膜工艺分别在基板上沉积SiNx 非金属膜以及栅极、源极、漏极和 ITO 等金属膜
下载后可任意编辑LED 主要生产流程包括:外延片生长、芯片加工以及封装应用,电子特气主要应用于外延片生长和芯片加工
(LED 是发光二极管的简称,是一种新型的半导体固体发光器件,具有发光率高、光线质量好、能耗低、安全环保等优点,是新一代照明光源及绿色光源)
太阳能电池是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片,由于太阳能是可再生的清洁能源,太阳能电池具有宽阔的进展前景,电池片是太阳能电池的核心组件
电子特气在太阳能电池片的多项生产环节中发挥重要作用,包括扩散、刻蚀、沉积等工序
二、中国电子特气市场现状随着全球半导体产业链向国内转移,国内电子