光电检测技术 ---------第三次作业 班级：机测控 11 姓名：李谋 学号：2110103013 激 光 干 涉 测 试 技 术 技 术 原 理 ， 示 意 图 ， 影 响 因 素 及 提 高 方 法 ▪ 特 点 ： ➢ 具 有 更 高 的 测 试 灵 敏 度 和 准 确 度 ； ➢ 绝 大 部 分 的 干 涉 测 试 都 是 非 接 触 式 的 ，不 会 对 被 测 件 带 来 表 面 损 伤 和 附 加 误差 ； ➢ 较 大 的 量 程 范 围 ； ➢ 抗 干 扰 能 力 强 ； ➢ 操 作 方 便 ； ➢ 在 精 密 测 量 、 精 密 加 工 和 实 时 测 控 的 诸 多 领 域 获 得 广 泛 应 用
干 涉 条 件 ▪ 通 常 能 够 产 生 干 涉 的 两 列 光 波 必 须 满 足 三 个 基 本 相 干 条 件 ： ➢ 频 率 相 同 ➢ 振 动 方 向 相 同 ➢ 恒 定 的 位 相 差 在 实 际 应 用 中 ， 有 时 需 要 有 意 识 地 破 坏上述条 件
比如在 外差 干 涉 测 量 技 术 中 ， 在 两 束相干 光 波 中 引入一个 小的 频 率 差 ， 引起干 涉 场中 的 干 涉 条 纹不 断扫描， 经光 电探测 器将干 涉场中 的 光 信号转换为电信号， 由电路和 计算机检出干 涉 场的 位 相 差
影 响 干 涉 条 纹对 比度 的 因 素 ▪ 对 于所有 类型的 干 涉 仪， 干 涉 条 纹图 样对 比度 降低的 普遍原 因 是 ： ➢ 光 源的 时 间相 干 性； ➢ 光 源的 空间相 干 性； ➢ 相 干 光 束的 光 强 不 等； ➢ 杂散光 的 存在 ； ➢ 各光 束的 偏振 状态差 异； ➢ 振 动 、 空气扰 动 、 干 涉 仪结构的 刚性不 足 等
提 高 分 辨力 的 方 法 和 干 涉 条
