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光电检测技术 ---------第三次作业 班级:机测控 11 姓名:李谋 学号:2110103013 激 光 干 涉 测 试 技 术 技 术 原 理 , 示 意 图 , 影 响 因 素 及 提 高 方 法 ▪ 特 点 : ➢ 具 有 更 高 的 测 试 灵 敏 度 和 准 确 度 ; ➢ 绝 大 部 分 的 干 涉 测 试 都 是 非 接 触 式 的 ,不 会 对 被 测 件 带 来 表 面 损 伤 和 附 加 误差 ; ➢ 较 大 的 量 程 范 围 ; ➢ 抗 干 扰 能 力 强 ; ➢ 操 作 方 便 ; ➢ 在 精 密 测 量 、 精 密 加 工 和 实 时 测 控 的 诸 多 领 域 获 得 广 泛 应 用 。 干 涉 条 件 ▪ 通 常 能 够 产 生 干 涉 的 两 列 光 波 必 须 满 足 三 个 基 本 相 干 条 件 : ➢ 频 率 相 同 ➢ 振 动 方 向 相 同 ➢ 恒 定 的 位 相 差 在 实 际 应 用 中 , 有 时 需 要 有 意 识 地 破 坏上述条 件 。 比如在 外差 干 涉 测 量 技 术 中 , 在 两 束相干 光 波 中 引入一个 小的 频 率 差 , 引起干 涉 场中 的 干 涉 条 纹不 断扫描, 经光 电探测 器将干 涉场中 的 光 信号转换为电信号, 由电路和 计算机检出干 涉 场的 位 相 差 。 影 响 干 涉 条 纹对 比度 的 因 素 ▪ 对 于所有 类型的 干 涉 仪, 干 涉 条 纹图 样对 比度 降低的 普遍原 因 是 : ➢ 光 源的 时 间相 干 性; ➢ 光 源的 空间相 干 性; ➢ 相 干 光 束的 光 强 不 等; ➢ 杂散光 的 存在 ; ➢ 各光 束的 偏振 状态差 异; ➢ 振 动 、 空气扰 动 、 干 涉 仪结构的 刚性不 足 等。 提 高 分 辨力 的 方 法 和 干 涉 条 纹的 信号处理 ①光 学倍频 技 术 分 辨力 2/K2/ ②光学相位细分技术 ▪ 提高干涉仪分辨力,还可利用干涉条纹的相位细分技术。可以把干涉条纹每变化一个级次,看作相位变化了360°。从一个干涉条纹变化中得到多个计数脉冲的技术称为相位细分技术。 ▪ 相位细分的方法有机械相位细分、阶梯板相位细分、翼形板相位细分、金属膜相位细分和分偏振法相位细分等。 ③处理电路细分方法 ▪ 电路细分方法有多种,如四细分辨向、计算机软件...

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