基 于 单 片 机 的 无 尘 室 监 测 系 统 的 设 计 无 尘 室 内 部 的 环 境 指 标 对 其 本 身 的 工 作 状 态 有 很 大 的 影 响 ,因 此 准 确 完 善 的无 尘 室 监 测 技 术 是 保 证 无 尘 室 正 常 工 作 的 一 个 关 键 环 节 ,约 占 整 个 无 尘 室 应 用 的50%。本 文 通 过 对 半 导 体 生 产 工 业 中 所 用 到 的 无 尘 室 环 境 进 行 调 研 和 分 析 ,借 助 嵌入 式 技 术 来 实 现 相 关 环 境 参 量 的 监 测 ,对 监 测 数 据 使 用 PC 来 进 行 处 理 。 该 系 统 满 足 了 环 境 监 测 系 统 在 未 来 的 需 求 主 要 朝 着 受 控 环 境 多 元 化 、应 用 领域 广 泛 化 ,监 测 指 标 多 样 化 及 精 确 化 等 方 向 发 展 的 趋 势 。 要 设 计 一 个 完 善 的 环 境监 测 系 统 ,各 个 部 分 全 面 地选择是 关 键 。 该 监 测 系 统 的 监 测 指 标 有 四项：温度、 湿度、 微尘 颗粒含量 和 噪声强度。 分别由温湿度传感器、 微尘 粒子计 数 器和 噪声传感器作 为主 要 采集模块实 时地采集监 测 相 应 的 环 境 指 标 。 根据 无 尘 室 环 境 监 测 的 需 求 分 析 ,该 系 统 选用 的 核心控 制器为单 片 机C8051F410,该 单 片 机 中 有 丰 富 的 模拟 和 数 字 资 源 ,并 采用 一 些 在 单 片 机 中 前 所 未有 的 技 术 ,使 CPU 内 核的 内 部 和 外 部 有 几 项关 键 的 性 能 改 进 ,提 高 了 整 体 的 性 能 ,更 易 于 在 系 统 设 计 中 使 用 。 其 通 用 和 专 用 管 脚 连 接 外 围 电 路 的 多 个 模块 ,分 别为存 储 模块、 时钟 模块、 键 盘 模块、 温湿度监 测 模块、 微尘 颗粒监 测 模块、 噪声监测 模块,LCD 显 示 模块、 串 口 模块、 通 讯 模块和 电 源 模块。 主 控 部 分 的 单 片 机 用 汇 编 语 言 来 编 程 ,各 个 监 测 模块定 时采集环 境 参 数 ,实时地在 本 地 LCD 界 面 显 示 并 送 到 远 程 监 控 的 上 位 机 ,同 时系...
