序号产线异常描述原因分析1出现发白片槽体未清洗干净2更换片源（薄片）后出现发白片制绒时间不够3出现发白片补液量不够4水纹片开5个制绒槽导致片子制好绒后不能及时放入清水槽，制绒时间久绒面大，导致片子脱水后硅酸钠残留在片子上洗不掉，出现水纹印5效率波动较大使用常州有则硅片，内部存在很多油污片6水纹片槽液使用时间过长，导致片子脱水后硅酸钠残留在片子上洗不掉，出现水纹印7制绒后表面较脏更换片源为宏基B类片8制绒有发白和水纹片未及时换液9测试酸洗槽发现基本呈中性酸洗槽换液进水一直打开，交接班不清楚10接班效率不高，低效较多排查为绒面较差117号槽片子发白，且酸洗后不脱水槽体未洗干净，或者员工配液时多加了IPA12特采片表面油污，且制绒后会有发白片源问题13制绒后发白部分片子为油污片14效率下滑HCL槽上班换液时进水开关未关，本班12：00发现时HCL槽已全部是水15外围供气不足，制绒后全部没吹干外围异常16序号产线异常描述原因分析1扩散后方阻异常达到100多 工艺进行时温度未达到，强行跳步所致2效率低，低效比例高（UOC低，漏电大）测量低效片方阻大多为80以上3方阻偏大炉门关不了，导致一管 片子在炉内停 留时间长4效率不稳 现象扩散588和589部分炉管 测试记 录 错 误 导致方阻调 节 相 反 ，方阻异常，过高和过低的都 未挑 片返 工导致5全部尾 气压 偏小 13-14外围异常6扩散时不通 源设 备 异常7整 管 方阻偏大气密 性不好，有漏气8温度出现异常设 备 查看 为 热 电偶 检 测异常9方阻偏高石 英 管 裂 开导致漏气10方阻偏高进源气动阀 故 障 导致11炉口 方阻偏高设 备 检 测是炉管 位 置 有差异12单 晶单 晶序 号产 线 异 常 描 述原 因 分 析1过 刻 现 象泵 浦 功 率 过 大 ， 液 面 过 高2过 刻 现 象抽 风 不 稳 导 致 液 位 浮 动3刻 蚀 不 足泵 浦 功 率 过 低 ， 液 面 过 低4片 子 局 部 区 域 过 刻2槽 后 部 分 片 子 边 缘 有 小 水 滴5高 温 报 警冰 水 机 故 障6减 薄 量 偏 小溶 液 浓 度 偏 低7减 薄 量 偏 小 且 边 缘 刻 蚀 不 透溶 液 浓 度 偏 低8测 试 出 现 零 效 片PSG放 反 片93#槽 表 面 亲 水 现 象2#槽 水 刀 流 量 过 大10减 薄 量 偏 小药 液 失 效11减 薄 量 小 ， 部 分 片 子 刻 蚀 不 透药 ...
