KEITHLEY四探针操作手册

下载后可任意编辑KEITHLEY 四探针操作手册12024 年 4 月 19 日南开大学 硅光电子学与储能实验室Four-Point Probe Operation | 四探针操作手册四探针操作说明书Four-Point Probe Operation第 1 章引言.............................................................................................11.目的................................................................................................12. 应用范围........................................................................................13. 测试设备........................................................................................1 四探针......................................................................................1 数字电压源表.........................................................................2第 2 章 原理简述....................................................................................31.薄膜(厚度≤4mm)电阻率：.......................................................32. 薄膜方块电阻...............................................................................3第 3 章 操作方法....................................................................................51.引言...............................................................................................52. 测试线连接方式...........................................................................5下载后可任意编辑3. KEITHLEY 2400 高压源表设置指南..........................................64. 探针接触方式...............................................................................85. 数据测试指南...............................................................................8第 4 章 注意事项...................................................................................10附表............................................................................................................. I12024 年 4 月 19 日第1章 引言1.目的本说明书主要介绍用四探针法测试薄膜方块电阻及电阻率的原理及具体操作方法。2.应用范围...