离子渗氮工艺原理【2009-1-8 】﹝一﹞ 钢的渗氮渗氮是把氮渗入钢件的表面，形成富氮硬化层的化学热处理过程。在工业生产中，常用的工艺方法有：气体渗氮、盐浴渗氮和离子渗氮。1．渗氮工艺的特点﹝1﹞渗氮后的零件表面具有高的硬度、耐磨性、疲劳强度和低的缺口敏感性。﹝2﹞渗氮温度较低，一般在500- 600℃，而且，渗氮层的高硬度可以由渗氮直接得到，不需要经过较高温度的加热和淬火。所以，渗氮工艺的变形是最小的，常常作为零件的最后一道工序。﹝3﹞渗氮层有较高的抗腐蚀性能。2．渗氮工艺的化学过程渗氮和其他化学热处理工艺一样，也是由分解、吸收、扩散三个基本过程组成的。﹝1﹞分解渗氮介质﹝通常为氨气﹞通过热分解或其他方法，生成活性氮原子。﹝2﹞吸收钢表面吸收氮原子，形成氮在铁中的固溶体和氮化物。﹝3﹞扩散氮从表面高浓度的饱和层向钢内层深处进行扩散，形成一定深度的渗氮层。3．渗氮层的组织根据 Fe-N 状态图，渗氮层主要由α 、γ 、γ ，、ε四个相组成。﹝1﹞α相氮在 α -Fe 中的间隙固溶体。最大溶解度为0.1 ％。﹝2﹞γ相氮在 γ -Fe 中的间隙固溶体。﹝3﹞γ ，相为一可变成分的间隙相化合物，含氮量在5.7-6.1 ％之间，成分符合Fe4-N。﹝4﹞ε相是含氮量变化范围相当宽的化合物，成分在8.25-11.0 ％之间变化。ε相硬度高，脆性大。4．合金元素的作用碳钢和合金钢中由于碳和合金元素的作用，也影响渗氮层的形成。碳的存在会使氮的扩散受阻，减小渗氮层的厚度。钢中大部分合金元素都能形成氮化物，按氮化物的稳定性﹝稳定性越高，硬度也越高﹞次序排列依次为：Ti 、Al 、V、W、Mo、Cr、Mn、Fe。所以，为了在表面得到高的硬度和耐磨性，必须向钢中加入能与氮形成稳定氮化物的合金元素。同时， V、W、Mo、Cr 等合金元素还能改善钢的组织，提高心部的强韧性。合金元素也会使氮的扩散受阻，减小渗氮层的厚度。﹝二﹞ 离子渗氮工艺原理离子渗氮渗氮层的形成也是由分解、吸收、扩散三个基本过程组成的。但是，由于辉光放电的作用，其机理有所不同。在真空炉体内，工件接阴极，炉体接阳极，在阴阳极间施加数百伏的直流电压，产生辉光放电，使含氮的稀薄气体﹝如氨气﹞电离，形成等离子体。N+、H+离子在阴极位降区被加速，轰击阴极表面，使阴极表面活化，并发生一系列反应。首先，离子轰击动能转化为热能，加热工件。其次，离子轰击打出电子，产生二次电子发射，同时，由于阴极溅射作用，工件表面的C、O...
