ESDESD培训教程培训教程斯比泰电子（深圳）有限公司SHENZHNESPEEDY－TECHELECTRONICSCO.,LTDESD委员会培训内容培训内容•ESDESD的定义及其防护意义的定义及其防护意义•ESDESD危害危害,,及其相关术语及其相关术语•ESDESD的产生的产生•ESDESD防护在实际生产中的应用防护在实际生产中的应用•生产中的生产中的ESDESD自检自检•总结总结ESDESD的定义及其防护意义的定义及其防护意义定义定义•ESD=ESD=EElectrolectrosstatictaticDDischarge≈ischarge≈EElectrolectrosstatictaticDDaamagemage，意指静电放电，由于不等电位电荷由一个物，意指静电放电，由于不等电位电荷由一个物体快速瞬间的转移到另一个物体的过程体快速瞬间的转移到另一个物体的过程..在这个过程在这个过程中会产生强大的静电放电脉冲电流中会产生强大的静电放电脉冲电流,,一旦经过静电敏一旦经过静电敏感器件感器件,,就会导致器件失效就会导致器件失效..造成造成ElectrostaticDaElectrostaticDamage.mage.1KV20V++++++++++++++++++++++++++++•随着半导体工艺技术的进步随着半导体工艺技术的进步,,制造出的芯片几何制造出的芯片几何寸和线宽越来越小寸和线宽越来越小,,而脚位却越来越多而脚位却越来越多,,这使得这使得ICIC更加容易受更加容易受ESDESD问题的影响问题的影响..•发展到如今的低电导封装技术却没有相应的提发展到如今的低电导封装技术却没有相应的提高芯片的本征电阻以应对键合产生的高频高芯片的本征电阻以应对键合产生的高频ESDESD脉冲脉冲..•没有考虑材料类型的自动化系统的应用最终导没有考虑材料类型的自动化系统的应用最终导致器件的失效致器件的失效..ESDESD的定义及其防护意义的定义及其防护意义ESDESD的定义及其防护意义的定义及其防护意义•ESDESD防护没有做好防护没有做好,,会导致以下严重问题会导致以下严重问题::ESDESD的危害的危害,,及其相关术语及其相关术语ESDESD的危害的危害::•失效的电子设备有失效的电子设备有60%~7560%~75%%是由是由ESDESD造成的造成的;;对于新对于新兴技术行业兴技术行业((尤其是高科技尤其是高科技微电子微电子,,半导体半导体,,电磁敏感电磁敏感类类,,及光器件的应用及光器件的应用),),这种这种比例将上升至比例将上升至90%.90%.•因静电原因而对电子行业造因静电原因而对电子行业造成的损失每年达几百亿美元成的损失每年达几百亿美元或更多或更多..电子器件失效分布图10%90%其它ESD失效比率ESDESD的危害的危害,,及其相关术语及其相关术语•静电放电能够产生高脉冲静电放电能够产生高脉冲电流电流,,同时产生高频脉冲同时产生高频脉冲干扰，导致设备收到错误干扰，导致设备收到错误指令而产生误操作，从而指令而产生误操作，从而对产品或设备产生危害。对产品或设备产生危害。•静电放电能导致微电静电放电能导致微电子器件损坏或击穿子器件损坏或击穿,,同同时可引起功能退化或时可引起功能退化或潜在性失效潜在性失效..ESDpulseESD损坏表征图ESD的危害:ESDESD的定义的定义,,危害危害,,及其相关术及其相关术语语ESDESD的相关术语的相关术语::•导体导体::表面电阻小于表面电阻小于101044ΩΩ,,电何荷可以电何荷可以在其上面快速移动在其上面快速移动..•防静电材料防静电材料(Antistaticordissipative(Antistaticordissipativematerial):material):表面电阻在表面电阻在101044~10~101111ΩΩ范围范围内的材料内的材料,,电荷可以在其上面缓慢的移电荷可以在其上面缓慢的移动动;;•绝缘材料绝缘材料((或为或为高静电材料高静电材料):):表面电阻表面电阻大于大于10101111ΩΩ,,电荷在其上面没法移动电荷在其上面没法移动..•防静电区域防静电区域(EPA,ESDProtectedArea):(EPA,ESDProtectedArea):代表此区域中的人代表此区域中的人,,机机,,料料,,法法,,环均有环均有ESDESD防护措施防护措施.ESD.ESD敏感器件可在此区敏感器件可在此区域进行处理域进行处理..•静电静电(StaticCharge):(StaticCharge):即为静止的电荷即为静止的电荷..防静电材料导体绝缘材料静电ESDESD的产生的产生•静电［静电［staticchargestaticcharge］的产生］的产生•静电放电事件［静电放...
