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半导体厂房空调系统节能研究

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下载后可任意编辑半导体厂房空调系统节能讨论半导体厂房空调系统节能讨论 摘要:在社会和经济进展过程中,许多领域对半导体的需求不断增加,半导体行业进展速度不断加快,但是半导体生产需要大量的电力能源,为降低电能消耗,控制生产成本,许多企业积极建设干净厂房。本文围绕半导体厂房空调系统节能展开讨论,根据半导体厂房环境质量需求,实施有效的空调节能措施,有助于降低电能的消耗。 Abstract: In the process of social and economic development , the demand for semiconductors in many fields is increasing, and the development speed of the semiconductor industry is accelerating. However , semiconductor production requires a large amount of electrical energy. In order to reduce electrical energy consumption and control production costs , many companies are actively building clean factories. This article discusses the energy saving of the air-conditioning system of semiconductor plants. According to the environmental quality requirements of semiconductor plants , the implementation of effective air-conditioning energy-saving measures can help reduce the consumption of electrical energy. 关键词:半导体;厂房;空调系统;节能讨论 Key words: semiconductor;plant;air-conditioning system;energy saving research 中 图 分 类 号 : TU831 文 献 标 识 码 : A 文章编号:1006-4311(20XX)15-0233-02 0 引言 提高半导体厂房空调系统的节能水平,需要在干净室中进行相关讨论,包1下载后可任意编辑括干净室气流组织、干净室高耗能原因分析以及干净室节能方案分析等,通过分析获得空调系统节能参数,同时结合半导体厂房实际消耗电能,综合调控空调系统,从而获得良好的节能效果,以便控制运行成本,获得更好的经济效益。 1 干净空调系统节能分析 1.1 干净室技术介绍 半导体厂房需要在较高质量的环境中生产半导体,通过干净室模拟实际生产环境,分析干净室内的灰尘、有害气体等物质,并实施有效的措施,有效控制干净室的干净度。在通过干净室对空调系统进行节能分析时,需要满足以下三个条件,一是防止微粒进入到干净室,二是防止微粒堆积...

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