洁净室的测试及验收标准

洁净室的测试及验收标准 控制洁净室空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段，还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议（16）中都详细地制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。 在洁净室内，按其用途的不同应控制下列参数： 1、测试状态的确定 2、空气中粒子的浓度 3、气流的风速和单向性（对单向气流而言） 4、风量和换气次数 5、最终过滤器的整体性 6、空气温度和湿度 7、洁净室的密闭性 8、洁净室表面的洁净度 测试状态的确定：根据设计要求，一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测，一般不做动态检测，如需动态检测，需要制定或参照其他标准。 空气粒子浓度的检测 洁净度级别 洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的最大允许浓度（每 1m3 空气中的粒子数）。 空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定，根据该标准的规定，洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D 的粒子的最大允许浓度确定的。 在确定实际洁净室的洁净度级别时，应对粒径≥阀值的粒子进行统计，下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。 所列为整数级别序数N 和最常见值D 的粒子最大允许浓度 ISON 级 粒子最大允许浓度Cn 颗m3，粒径≥下列值，微米 ISO 1 级 10 2 - - - - ISO 2 级 100 24 10 4 - - ISO 3 级 1000 237 102 35 8 - ISO 4 级 10000 2370 1020 352 83 - ISO 5 级 100000 23700 10200 3520 832 29 ISO 6 级 1000000 237000 102000 35200 8320 293 ISO 7 级 - 352000 83200 2930 ISO 8 级 - 3520000 832000 29300 ISO 9 级 - 8320000 293000 备注：浓度值Cn 应四舍五入，小数点后保留三位，在实际情况下粒子浓度的实际误差是存在的，求不出精度很高的浓度。 洁净度级别表示实例 ISO 4 级；静态；给定粒径微米（352 粒子/m3）。 ISO 5 级；静态；给定粒径微米（3520 粒子/m3）；微米（29 粒子/m3）。 因此，在测试具体的洁净室的相应洁净度级别时，不需要检测如上表所示的该级别的所有粒子粒径。而只要检测为该种洁净室给定的粒子粒径。 测定洁净度级别的方法 在检测洁净室的洁净度级别时，应测定洁净室内1 点或数点的悬浮粒子浓度（即取样点的粒子浓度）。 因此必须满足...