PCM测试培训概述PCM测试的作用测参数参数有什么作用?•建立器件模型•制定出片标准•监控工艺质量•寻找低良原因PCM设备类型CMOS/BICMOS/E2等低压器件测试设备:4070/4062/450/425;DMOS测试设备:FET3600(兼顾CP测试和中测打点的功能)二极管测试设备:APD01概述三PCM测试系统结构控制终端测试仪TESTER探针台PROBER网线网线概述开关矩阵和针卡电容仪万用表脉冲发射器PCM程序描述4070:语言BASIC程序结构:子程序主程序PRINT文件LIMIT文件坐标文件TESTSUBS.6TESTS.6printTSTLST/TLbkup.std产品测试程序:CODE名TESTS.6printTSTLST/TLbkup.std450程序描述:语言:C子程序主程序标准测试模块LIMITFILE坐标文件产品测试程序:CODE名pgmklfplans.wduPLANSNMOS/PMOSklf.wduPGMcpf/wpf开发PCM程序需要与PCM确认什么信息?测试需要的硬件配(电容仪/脉冲发生仪等)针卡信息针卡上的针间距是否可以与开发产品WAFER上的PAD间距一致;针卡上的针的个数与排列是否与开发产品WAFER上的PAD个数与排列一致测试电压电流要求PCM测试机台是否可以满足4070/4062:见后页450/425:200ma/200vFET3600:5A/2000V4070450PCM测试程序开发开发PCM程序需要提供什么资料?测试模块坐标测试电学条件参数规范PCM程序开发需要填写的表单?E状态产品的更改路径:\\Fas920a\Fab1文件库\特别共享\PI电性测量课\TD程序调试申请报表M/N/P/ER状态的更改使用路径,工作流路径:Ìîдģ°å什么时候需要写申请:单个产品更改的时候,子程序优化走PCM人员走-PCCB程序开发完后PCM人员做什么?E状态产品:M/N/P/ER状态产品:EIP系统里会有附件附上.PCM异常处理流程PCM测试问题分析流程测试问题反馈测试问题思考方向:针卡/机台/操作习惯/程序经典案例分析450IOFF----弥补设备硬件差异MGLVP+测试问题------解决工艺缺陷VTFOX测试问题--------TESTKEY设计问题导致PCM问题FAIRCHART扎偏移-------找目标对测试的影响450IOFF产品反映IOFF450/4070测试值有台阶,导致工艺SPC不达标准450IOFF为什么会有漏电类参数,450测试结果比4070漏电小的呢?450IOFF检查程序寻找差异,450漏电更小的原因是使用了皮安表450IOFF优化程序解决问题•LVMG产品一直以来都存在P+测试不出的问题，现在以在北京生产的ICET316/314尤为突出•分析认为是PCMTEST设计结构不合理导致PCM测试有问题MGLVP+测试问题MGLVP+测试问题-PCMP+测试结构备注：红色：N+；兰色：P+；绿色：ALALSIO2N+NSUB探针结论：因为设计规则的问题，导致当探针过重扎穿AL/SIO2（1100A）直接与N+连通，即发生漏电，电阻测量不出。当探针轻扎时，P+是可以测试出来的，与实验吻合，见附录一。MGLVP+测试问题PCMN+测试结构备注：红色：N+；兰色：P+；绿色：AL结论：因为设计规则的问题，导致当探针过重扎穿AL/SIO2（1100A）直接与N+连通，因为所接触的还是N+，不会漏电，这就是N+从没有出现测量不出的原因ALSIO2N+PWELLNSUBMGLVP+测试问题•结论：因为模块设计问题，导致会有测试不出的问题发生，与PCM工艺无关经过单点扎针测试,发现当高度为310时,测试结果为片子真实值(同一点).针高=310Default_XRs_pplusratio1768.3111.118642771.3541.127123771.3541.136754772.8761.117655777.441.126056772.8761.127127785.0471.123978774.3971.117659777.441.09917附件一：PCM探针高度实验同一片在310高度测试的结果05.dat_4:PPLUSSHEETRESOHMS/SQ000710.500UUU.U50090005.dat_4:PPLUSCONTRESOHMS/CNT53.8-33.1726.05105.958153.8.U..O025025.dat_4:PPLUSSHEETRESOHMS/SQ000000UUUUU50090025.dat_4:PPLUSCONTRESOHMS/CNT-506.3-192.2130.32.3E+04443.7130.3UU.Oo025012.dat_5:PPLUSSHEETRESOHMS/SQ08140000U.UUU50090012.dat_5:PPLUSCONTRESOHMS/CNT2.4E+04100.54.2E+042E+212E+214.2E+04O.OOO0250发现有的点能测试出,而有些点测不出.加深为311,则测试结果如下:15.dat_5:PPLUSSHEETRESOHMS/SQ739.40734.8000.U.UU50090015.dat_4:PPLUSSHEETRESOHMS/SQ0721.1713.50744713.5U..U.50090017.dat_4:PPLUSSHEETRESOHMS/SQ715.1745.5721.1696.8742.4721.1.....500900认为针的高度对测试结果有很重要的结果,但很难保证测试...
