精品文档---下载后可任意编辑Si 基 GaNHEMT 结构 MOCVD 生长讨论开题报告开题报告（标题）Si 基 GaNHEMT 结构 MOCVD 生长讨论一、讨论背景高电子迁移率晶体管（HEMT）是目前最具有应用潜力的微波功率晶体管之一，具有高频特性好、噪声低和耐辐照等优点。其中，基于氮化镓（GaN）的 HEMT 已经成为讨论的热点之一。但是，GaN 材料在 Si衬底上的生长难度较大，加之其热膨胀系数与 Si 衬底差异较大，易产生晶格失配、缺陷等问题，因此，如何在 Si 衬底上有效地生长出高质量的GaN 材料成为了讨论的难点之一。此外，近年来出现了将 GaN 与 Si 模拟器件集成的讨论，即 Si 基 GaNHEMT 结构，其可在 Si 基上实现高性能功率晶体管的制备，因此引起了广泛关注。二、讨论目的本讨论的目的是通过金属有机化学气相沉积（MOCVD）技术在 Si衬底上生长高质量的 GaN 材料，获得 Si 基 GaNHEMT 结构器件的制备工艺，并对其器件性能进行讨论。具体讨论总目标如下：1.探究氮、氢等流量对 Si 衬底上 GaN 材料生长的影响；2.讨论不同生长温度对 Si 基 GaNHEMT 结构的影响；3.通过调控生长条件实现 Si 基 GaNHEMT 结构的有序组装和晶体形貌控制；4.评估 Si 基 GaNHEMT 结构器件的电学性能和利用价值。三、讨论内容（一）生长 GaN 材料1. 气相沉积原理和应用；2. GaN 材料生长方法和基本工艺；3. 探究氮、氢等流量对 Si 衬底上 GaN 材料生长的影响；（二）制备 Si 基 GaNHEMT 结构1. Si 基 GaNHEMT 结构刻蚀工艺；精品文档---下载后可任意编辑2. 生长 Si 基 GaNHEMT 结构制备原理；3. 讨论不同生长温度对 Si 基 GaNHEMT 结构的影响；4. 通过调控生长条件实现 Si 基 GaNHEMT 结构的有序组装和晶体形貌控制。（三）器件性能测试1. Si 基 GaNHEMT 结构器件的电学特性测试；2. 评估 Si 基 GaNHEMT 结构器件的电学性能和利用价值。四、讨论方法1.实验方法：金属有机化学气相沉积（MOCVD）技术生长 Si 基GaNHEMT 结构和制备 Si 基 GaNHEMT 结构器件，并对其进行性能测试和表征。2.分析方法：场发射扫描电镜（FESEM）、X 射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）、X 射线光电子能谱（XPS）、拉曼光谱（Raman）等方法对材料结构、成分及晶体质量进行表征。五、讨论意义本讨论将有助于在 Si 基上实现高性能功率晶体管的制备，为实现高性能功率器件集成提供技术支持。同时，本讨论也将为提高 GaN 材料在体系集成电路领域的应用提供新思路和新方法。此外，本讨论还将拓展GaN 材料在电子、光电器件领域的应用范围，为经济和社会进展做出贡献。
