精品文档---下载后可任意编辑Si 衬底上 Ge/Si 岛的有序可控生长与表征的开题报告摘要:在面对下的 Si 衬底上生长 Ge/Si 岛是一种重要的纳米结构,具有潜在的应用于纳米电子学和光电子学。本文主要介绍了由分子束外延生长的 Ge/Si 岛的制备工艺及其表征方法。通过委托实验室进行样品准备,先利用样品的 X 射线衍射数据确定其结构,然后使用扫描电子显微镜和透射电子显微镜来讨论 Ge/Si 岛的形态、大小和组织结构,并通过原子力显微镜来讨论其表面形貌。在 Ge/Si 岛上进行析出的金属皮膜被移植以测量其电学性能。实验结果表明,成功生长出高密度和有序可控的Ge/Si 岛,其电学性能不仅具有应用前景,而且对于纳米器件和材料讨论也具有重要意义。关键词: Ge/Si 岛、分子束外延、透射电子显微镜、原子力显微镜、电学性能一、问题描述由于 Si 衬底的材料特性及其优良的制备工艺,使其成为纳米电子学和光电子学领域中最为重要的讨论对象之一。然而,Si 衬底上生长大规模、高质量的纳米结构仍然是一个挑战。而 Ge/Si 岛是一种有潜在应用于纳米电子学和光电子学的重要纳米结构。在这种结构中,由于 Si 和 Ge的晶格常数不同,Ge 会在 Si 表面产生应力,然后形成高密度的 Ge 岛。在这种结构中,Si 和 Ge 在表面相互作用,其最终形态和大小取决于外延生长的多种因素,例如温度、衍射时间和衬底表面处理等。因此,如何制备高质量、有序可控的 Ge/Si 岛同时讨论其表征方法,是当前纳米器件和材料讨论中较为关注的问题。二、讨论方法1.样品制备:通过在 Si 衬底上使用分子束外延生长工艺生长 Ge/Si岛,控制温度、压力和功率等表面多种因素,以生长出高密度、有序可控的 Ge/Si 岛。2.量子点表征:分别利用 X 射线衍射、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)等讨论 Ge/Si 岛的形态、大小和组织结构,并测量其表面形貌。3.电学性能:在 Ge/Si 岛上进行析出的金属皮膜被移植以测量其电学性能。三、预期结果精品文档---下载后可任意编辑通过上述表征方法,成功生长出高密度和有序可控的 Ge/Si 岛,达到预期目标。同时,讨论表明,Ge/Si 岛的电学性能不仅具有应用前景,而且对于纳米器件和材料讨论也具有重要意义。