- 1 - 目 录 第一章 用户须知… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … ..… … ..… … … .2 1 .1 安全使用须知… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … ..… … ..… 2 1 .2 使用前准备… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .… … … … 2 1 .3 研磨液的安全使用… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .2 第二章 概述… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .… 3 2 .1 结构及适用范围… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .… 3 2 .2 设备各部件名称… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .4 2 .3 研磨操作程序… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .4 第三章 研磨前的准备… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .7 3 .1 研磨底盘的准备… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .7 3 .2 研磨片的放置… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .7 3 .3 设置压力参数… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .7 3 .4 设置研磨时间… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .8 第四章 研磨… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .9 4 .1 装夹插芯… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .…...
