特种气体系统工程技术法律规范2024—04-07 08:31：54｜ 分类: 默认分类 | 标签：气体 特种 管道 气瓶 阀门 |字号 订阅1 总 则 1.0。1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境,满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进,经济合理。制定本法律规范。1.0。2 本法律规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。1。0。3 本法律规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工.1。0。4 特种气体系统的设计和施工除应符合本法律规范的规定外,应符合国家现行有关标准的规定.2 术 语 2。0。1 特种气体 specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。2.0。2 特种气体系统 speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。2.0。3 特种气体间 speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。2.0。4 硅烷站 silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y 钢瓶、长管拖车或 ISO 标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。2.0。5 明火地点 open flame site室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点.2。0。6 散发火花地点 sparking site 散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。2。0。7 空瓶 empty cylinder留有残余压力的气体钢瓶。2.0.8 实瓶 full cylinder存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为 40L、47、48L 等各种容积。2。0.9 气瓶集装格 the bundle of gas cylinders用专用金属框架固定，采纳集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。气瓶的个数分别为 9 个、12 个、16 个不等，单个气瓶的水容积通常为 40~50L。2.0。10 气瓶柜 gas cabinet （GC）特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管...
