微机械元件和仪器进展论文 摘要微机械元件和微机械仪器，适于大批量生产，具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点，近十年来，研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展，展现了美好的前景。 一、前言 微电子技术的进展，为通讯、信息处理和生产、生活及办公自动化等领域带来了巨大的进步，使人类的生活方式、思维方式和社会的产业结构发生了巨大的变化，将人类带入了信息时代。 在电子技术深化进展的同时，一项新的技术棗微机械技术悄然的诞生。微机械进展迅速，具有巨大的进展潜力和应用前景。许多科学家坚信，它将成为继微电子技术之后又一项推动社会迅速进步的革命性技术。 微机械的全称为微电子机械系统，是以微电子技术和微加工技术为基础的一项新技术。早在六十年代，微机械技术的概念就开始萌芽，一些富有创见的科学家开始探究用硅的微加工方法，制作传感器、执行器和控制器，并设想将它们集成在微小的几何空间，从而形成高度自动化、智能化、可以大批量生产、价格低廉的微电子机械系统。八十年代末，微机械压力传感器等技术的成熟并市场化，IC 工艺制作的静电微电机的研制成功，标志着微机械技术已经进展成了一门独立的新兴学科。在科学家们的推动下，微机械技术受到了美国、德国、日本等发达国家的重视，投入了大量的人力物力，十余年间，微机械技术取得了众多新成果，微机械技术透浸到众多领域，产生了巨大的经济和社会效益，展现了美好的前景。 二、微机械元件 微机械元件既可以作为独立的器件，应用于宏观的机电系统中，又可以作为微机械集成系统的单元，是微机械迄今为止讨论和开发的主要内容。 微机械的讨论主要集中在硅基器件上，这与硅的良好的机械性能和与 IC 工艺的兼容性有关。早期研制成功并商品化的器件是结构简单的传感器棗硅压力传感器，这种传感器性能优良，成本低廉，市场增长十分迅速，95 年产量为 5 千万件，估计 2024 年产量将达 1亿 2 千万件[1]。1995 年全球传感器市场为 60 亿美元，其中约 4 分之 1 为微机械传感器，微机械传感器从起步至今仅十余年历程，进展如此迅速，表现出微机械技术的强大的生命力。 微机械传感器市场潜力仍非常大，不仅可以进一步替代传统传感器，由于其价格低廉，必将在更多领域得到应用，从而开辟更宽 阔 的 新 兴 市 场 。 国 际 上 许 多 著 名 的 公 司 如 ，Rosemout、AnalogDevices 和 Motorola 均有积极的微机械传感...
