目 录摘要 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ⅠAbstract .......................................................... Ⅱ第一章 绪论 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11.1 单晶硅的制备方法 ...............................................1 1.1.1 区熔法 .................................................... 11.1.2 直拉法 .................................................... 11.2 直拉单晶硅的特点 ...............................................2第二章 直拉单晶炉设备结构与保养与维护 .............................32.1 直拉单晶硅炉的结构 .............................................32.2 直拉单晶设备中的各类装置 .......................................42.3 直拉单晶炉保养和维修简介 .......................................7第三章 直拉单晶硅的工艺流程与常见故障处理 ....................... 83.1 直拉单晶硅的一般工艺流程 .......................................83.2 拉晶过程中的异常情况与处理 ....................................133.2.1 熔硅过程中的异常情况与其处理 ............................. 133.3.2 硅跳 ..................................................... 133.2.3 突然停电与熔硅时未通水 ................................... 143.3 单晶炉常见故障 ............................................... 14第四章 单晶炉热场的讨论和技术改进 ................................164.1 直拉单晶炉的热场 ..............................................164.2 直拉单晶炉热场控制系统 ........................................17结论 ..............................................................19参考文献 ..........................................................20致 ..............................................................21直拉单晶硅设备与工艺讨论摘要得益于全球光伏产业的高速进展，我国光伏...
