多晶电池生产流程简介陈红2009 年 9 月 18 日多晶硅片上下工序对电池的影响组件多晶晶锭3晶锭生产流程备料坩埚准备装料装炉拆锭晶锭检验包装1. 备料晶锭生产工艺流程介绍•每包 5Kg5 坩埚外观检验 坩埚喷涂 坩埚烘烤 2. 坩埚准备(周期: 21h ) 晶锭生产工艺流程介绍•喷涂氮化硅,用于隔离晶锭和坩埚•氮化硅帖服在坩埚上•检查有无破损6 3. 装料 4. 装炉 装料 装炉晶锭生产工艺流程介绍•按照合适比例将重掺硅料和正常硅料放入坩埚中 .•一般多晶不会出现电阻率不均匀现象 , 因为是先熔化后拉晶 .7 5. DSS 运行( 运行周期: DSS240 58h 、 DSS450 63h ) 铸锭过程中, DSS 炉运行配方分为 5步: 1 )加热 2 )熔化 3 )长晶 4 )退火 5 )冷却 多晶铸锭晶锭生产工艺流程介绍8 6. 拆锭 7.晶锭检测 拆锭 晶锭检测晶锭生产工艺流程介绍 产品规格: a 、 845*845*260mm ( 450 ) b 、 690*690*240mm ( 240 )主要性能参数: c 、 P 型,电阻率 0.5-3Ω·cm ; d 、少子寿命 >1μs ; e 、氧含量≤ 1.0×1018 atoms/cm3 ,碳含量≤ 5×1017atoms/cm3 9多晶硅片10硅片生产流程晶锭粘接线开方线开方去胶IR 测试Lifetime 测试截断磨面倒角晶棒粘接线锯预清洗、脱胶清洗甩干分选包装硅片生产工艺流程介绍1 、晶锭粘接喷涂式泡沫胶此为线开方辅助工序,将晶锭粘到线开方定位晶托上,准备开方。2 、线开方金刚砂 : 学名绿碳化硅;悬浮液 : 简称切削液,学名聚乙二醇;砂浆按切割密度要求的配比混合 图 1 为正在烘箱中的金刚砂 图 2 为正在配制砂浆的沙浆缸硅片生产工艺流程介绍线开方砂浆配制:此为线开方前道辅助工序,先将金刚砂放入烘箱内 90 度温度烘 12 小时,然后按要求将定量悬浮液金刚砂放入砂浆缸内均匀搅拌 12 小时方可使用2 、线开方上棒 :硅片生产工艺流程介绍切割 :硅块清洗机将开方好的晶棒连同晶托一起取下放入 80 度热水中,将晶托与晶棒分离卸棒清洗 :从粘锭处领取上一工序粘接好的晶锭,通过叉车将晶锭装到外置工作台上,再通过手摇车将晶锭送入切割室内线切割原理 : 砂浆中的金刚砂附着在高速转动的钢线上磨削形成切割 .一次可以切割 25 根晶棒 .3 、线开方去胶将开方后的晶棒放入清洗机中清洗后,将晶棒依次取下,再用铲子将晶棒和晶托上的胶铲掉放到待检区,检验尺寸,合格后准备进入下一工序;硅片生产...