多晶硅精馏单元培训资料培训内容 精馏简介 物料介绍 原理及设备 塔器及工艺流程 操作 安全1、精馏简介1、1 精馏技术就就是现代传质理论在化学、化工过程工业分离领域中得一项关键共性技术,广泛应用于石油炼制、石油化工、化学工业、精细化学品、化肥工业、空气分离、原子能化工、环境保护、中药现代化与天然产物分离等产品与工业过程。在提高产品得纯度与收益率、降低生产过程得能耗与控制环境污染方面具有重要作用。对显著提升传统化工装置技术水平、推动行业科技进步具有重要意义。1、2 精馏单元简介１．２.1 多晶硅生产得工艺过程:多晶硅生产得工艺过程简单概括为:三个化学反应,一系列得分馏提纯,使冶金硅成为高纯度多晶硅得除杂过程。在半导体硅得生产中,三氯氢硅或四氯化硅提纯就就是一个关键工序。ＴＣ S 合成工序产品有Ｓ iH Ｃ l3（TC Ｓ)，Si Ｃｌ４(S ＴＣ）,Si Ｈ２ Cl2(Ｄ C Ｓ),C Ｈ 3Si Ｈ Cl2(MDCS), B Ｃ l3,Ｐ C ｌ3,PCl ５,AlC ｌ 3，Fe Ｃ l2，其中得杂质(如硼）,在物理提纯过程中很难除掉，对于其她杂质,物理提纯也要耗费更多得时间与费用方能除去。其中有:精馏、萃取、固体吸附、部分水解、络合等。但在工业生产中,目前应用最为广泛得就就是精馏提纯,下图就就是工艺技术路线图。１．２．2 高纯概念 多晶硅生产就就是一个由Ｓ i 生产Ｓｉ得提纯过程,把 99、５%得Si 变成六到十个“９”得过程。产品纯度高,生产所用原、副材料要求纯度高,生产工艺过程中得设备、管道等给介质带入得杂质量要少,安装、清洗要求相应要严格得多,目得都就就是为了追求一个“纯”字。通常用百分比含量来表示物质得纯度,半导体行业常用“Ｐ Pｍ”“PPb”“ ” 表示物质得纯度,其换算关系为:PPm——杂质含量为 10－6;其纯度为 9 ９、９ 999% 6 个“９”PPb——杂质含量为 10-9;其纯度为９９、９ 999 ９ 99％ 9个“９” ——杂质含量为 10-12；其纯度为 99、９ 999 ９ 999 ９ 9% 1 １个“9”2、0 物料介绍精馏工序主要涉及到得物料有 SiHC ｌ３（TCS），SiC ｌ 4(STＣ),S ｉ H2Cl ２(DCS)，CH3SiHC ｌ 2(Ｍ DC Ｓ), B Ｃ l3,PCl3 与聚氯硅烷等。2、1 S ｉ H Ｃ L3 理化性质 名称数值名称数值分子量135、45含硅量20、7液体密度(3１.5℃)1、318闪点(℃）－２ 8气体密度（31.５℃)0、00 ５5空气自燃点(℃)１ 75熔点(℃）-128蒸发潜热(kcal/m ｏ ...
