多晶硅工艺生产技术姓名：葸国隆日期：2012年12月11日目录目录............................................................................................................................................................................I摘要.........................................................................................................................................................................II第一章多晶硅的认识和产品的用途......................................................................................................................1一、什么是多晶硅..............................................................................................................................................1二、什么是半导体..............................................................................................................................................1三、纯度表示法..................................................................................................................................................1四、多晶硅产品的用途......................................................................................................................................1第二章多晶硅的生产方法......................................................................................................................................2一、锌还原法（杜邦法）..................................................................................................................................2二、四氯化硅氢还原法（贝尔法）..................................................................................................................2三、三氯氢硅热分解法（倍西内法）..............................................................................................................3四、三氯氢硅氢还原法（西门子法）..............................................................................................................3五、硅烷热分解法..............................................................................................................................................3六、改良西门子法..............................................................................................................................................3第三章改良西门子法工艺......................................................................................................................................3一、发展历程......................................................................................................................................................3二、改良西门子法归纳起来有三大特点..........................................................................................................4三、工艺生产化学反应方程式..........................................................................................................................4第四章多晶硅生产的工艺过程................................................................................................................................4一、合成部分......................................................................................................................................................41、液氯汽化..................................................................................................................................................
