单晶硅生产废水处理站的改扩建摘要:本文介绍了某单晶硅生产过程中各工序产生废水的水量,水质及性质情况,并原废水处理站存在的问题进行分析
在原废水处理站的基础上,对改扩建后的废水进行处理
采用生铁屑和焦炭组成微电解氧化还原塔,作为单晶硅生产废水处理的预处理,取得较好的效果
关键字:单晶硅废水治理微电解氧化还原塔1概述某单晶硅厂由于引进6英寸单晶硅抛光生产线,该生产线投产后,废水排放量将大大的增加
现有的废水处理站的处理能力已不能满中要求
加之原处理站的处理较果不稳定
因此必须进行治理
因此在原有设施的基础上对废水处理站进行改造
2执行标准执行标准GB8978-1996一级
即PH=6-9
COD≦100mg/SS≦70mg/l3现废水处理站的现状3
1现废水处理站接纳废水的水质及水量现废水处理站接纳三个部位的废水,经均化调节后进行处理
废水的来源水质
水量见表废水来源及水质水量废水来源水量(m3/d)水质PHCOD(mg/l)SS(mg/l)多晶硅600<2300100--150切
抛600--8006100--150200有机硅200<3200--300100--150混合后1400--1600<3200--250150--2003,1
1废水的特点废水产生的部门不同,其特点各异1
多晶硅废水:是三氯硅烷还原生成多晶硅过程中产生的尾气经水淋洗产生的
主要反应为:SiHCl3+H2---Si+HCl(产品反应)SiHCl3+H2O---SiO2+HCl(尾气淋洗)废水中主要物质为:SiO2
HCl硅醇及脱水成聚硅氧烷和硅酸,偏硅酸等
废呈强酸性,SiO2的粒径极小,大部分聚成团漂浮的水面
抛废水来自三个工序:(1)切片工序主要为:粘石腊,冷却水等,废水中主要物质为:石腊,硅粉
(2)磨片工序的磨液成分为:洗液和肥皂制成浮液
废水中主要物质为:表面活性剂