2、MOCVD设备自身采取的安全措施（设备安装说明书、操作指南等）；XXXX科技有限公司入住XXX技术开发区的《LED芯片生产项目》中，LED外延片生产使用MOCVD设备
该设备用NH3、H2、N2气体作为原材料
MOCVD设备是用来生长半导体材料的重要设备，气体通道都使用高质量的不锈钢材料制成，管道全部采用焊接或VCR方式连接，以确保管道和腔体具有相当良好的气密性，气体泄漏的可能性极小；同时，MOCVD在现场安装时实施严格的气密性检查，确保设备系统的气密性能
不仅如此，MOCVD设备本身还设有氢气、氨气、氧气等检测装置，在设备运行的过程中，一旦检测到氢气、氨气泄漏，管道阀门自动关闭，并自动停止MOCVD设备工作
此外，本公司使用的MOCVD设备的反应腔也采用了特殊的结构，反应工作室的外形尺寸650mm长×450mm宽×450mm高，但其使用氢气的内部腔体的宽度仅为150mm、高度不足20mm，内部腔体中的气体处于常压工作状态，使MOCVD设备中的气体处于最小量，同时内部腔体外与反应工作室内壁之间充有氮气保护，进一步提高了设备的安全性
由于在设备的构造方面采取了钢性防泄漏措施；并采用了高灵敏度的气体检测装置，万一发生泄漏立即自动关闭管道的阀门；同时生产过程中设备系统中的氢气量少，万一发生泄漏使其难以达到爆炸的必要条件、极力避免爆炸及火灾的危险
3、MOCVD设备动力需求，环境要求；日本公司环境要求：温度：22±2℃相对湿度：50±10%动力需求设备名称单台设备用电单台设备排风氢气普氮纯氮NH3冷却循环水3Φ200V(KW)一般排风m3/h压力Mpa最大量(m3/h)平均量(m3/h)压力Mpa最大量(m3/h)平均量(m3/h)压力Mpa最大量(m3/h)平均量(m3/h)压力Mpa最大量(m3/h)平均量(m3/h)入口温度℃压力Mpa量m3/h完成型1×3'&
