第1页共7页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第1页共7页去PSG（磷硅玻璃）1.目的：去除硅片表面的P-Si玻璃层（PSG）,为加镀减反射膜做准备在形成PN结的扩散过程中，在硅片表面形成一层一定厚度的磷硅玻璃，磷硅玻璃不导电，为了形成良好的欧姆接触，减少光的反射，在沉积减反射膜之前，将磷硅玻璃腐蚀。磷硅玻璃使硅片在空气中容易受潮，导致电流的降低和功率的衰减死层的存在大大增加了发射区电子的复合，会导致少子寿命的降低磷硅玻璃的存在使得PECVD后产生色差2.磷硅玻璃的来源：4POCl3+3O2→2P2O5+6Cl2↑2P2O5+5Si→5SiO2+4P↓硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2，成为磷硅玻璃，主要成分P、P2O5、SiO2。3.反应原理原理：利用HF和硅片表面的P-Si玻璃层反应，并使之络合剥离，以达到清洗的目的。HF+SiO2→H2SiF6+H2O4.工艺设备序号工序辅助处理液时间温度1HF鼓泡HF酸120RT2溢流漂洗鼓泡DI120RT3溢流漂洗鼓泡DIRT4溢流漂洗鼓泡DIRT5.异常现象：清洗好的硅片表面有水珠或水成股流下，硅片表面疏水性不好。分析原因：HF的浓度太低，清洗的时间过短或过长。解决办法：及时补充或更换HF；若HF足量该调节HF中的清洗时间，时间过长或过短都会影响硅片表面状态，最终影响电池的性能。6.注意事项及时甩干，避免水纹印注意硅片正反方向不要插错。7.工艺要求检查硅片表面的情况，是否染色、有水纹印等;第2页共7页第1页共7页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第2页共7页操作规程1.1将刻蚀好的硅片插入花篮1.2开启去PSG机总电源，开启各单元控制器电源（附图1），开启甩干机电源，并让甩干机无篮运行一次1.3开启1#、2#、3#、4#槽加水开关：1#槽注水至半槽水位关闭进水阀，2#槽注水至溢流口关闭进水阀，3#、4#槽注水至副槽水位到达溢流口处关闭进水阀。1.4戴好护目镜，3M口罩，防酸手套（附图2），在1#加入规定量的HF，然后再开启进水阀，注水至水位离溢流口5cm处关闭进水阀，并手动开启鼓泡，3～5分钟后关闭鼓泡开关。1.5将去PSG机器开启自动运行状态。第3页共7页第2页共7页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第3页共7页1.6在上料台上先放上一个母篮，按下“上料确认”，第二个母篮开始既可投入待去PSG的片子进行自动操作。(附图3)1.7待下料蜂鸣响后，即刻将母篮从下料台上抬出放于推车上。1.8甩干机操作：首先按“开门”按钮，等到门完全打开后，将花篮有挡板的一面朝上，依次放入六个槽内，之后双手分别同时按住2个“关门”按钮。等到门完全关闭后，再按“启动”按钮。甩干结束后机器自动发出提示音，此时可以按“开门”按钮，然后取片。外表不符合要求的重复再洗。（附图4）1.9做好各项记录，将生产报表和工艺流程卡放入传递窗。1.10生产结束后，停止自动运行，调到手动状态，将各槽液体排放干净，并做好6S工作。2.注意事项6.1使用劳防用品前，要认真检查，确认完好、可靠、有效，严防误用，或使用不符合安全要求的护具，禁止违章使用或擅自代用。进入生产岗位，必须按规定穿戴劳动防护用品，并正确使用劳动防护用品；防毒面具使用前需仔细检查是否有效，第4页共7页第3页共7页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第4页共7页并按国家标准，定期更换滤毒盒；6.2注意甩干机操作，若未满8篮进行甩干，需对称放置花篮；6.3从去磷硅机器中取出的硅片应立即放入甩干机中甩干，不可暴露在空气中；6.4HF都具有强腐蚀性、强刺激性、可致人体灼伤。操作时注意先加水后加酸。操作人员需佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩），穿橡胶耐酸碱服，戴橡胶耐酸碱手套。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴氧气呼吸器；6.5HF的注意事项及应急处理详见相应的MSDS。7.应急处理7.1停电、水、气7.1.1应立即停止向设备输入硅片，待恢复供电、水、气后，按照操作规程操作。会同工艺员讨论在线生产硅片处理方案。第5页共7页第4页共7页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第5页共7页化学品安全技术说明书氢氟酸第一部分：化学品名称【中文名称】：氢氟酸【英文名称】...
