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第1页共7页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第1页共7页大中华总代理商利音股份有限公司台北县中和市中山路二段327巷11弄13号2楼电话:886-2-22402166传真:886-2-22406777网址:http://www.linetec.com.tw产品名称ITO卷筒薄膜溅镀系统产品型号RaON1300制造供应商VTSCorporation项目规格整套系统结构◆应用这套系统设计作为SiO2/ITO单面溅镀软性塑料材料,特别是PET这类塑料基材.◆整套系统结构第2页共7页第1页共7页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第2页共7页1.主要制程系统2.再卷线(Re-winding)/展开卷线(Un-winding)系统3.真空帮浦系统4.预热单元5.预处理单元6.溅镀系统7.电子控制系统8.效用项目规格◆系统结构1.系统空间2.基础薄膜规格3.卷线(winding)系统4.真空帮浦系统5.预热单元6.预处理单元(离子束单元)7.溅镀系统8.电子控制系统9.系统效用与销售条件10.真空测试11.镀膜1.系统空间◆尺寸4.37(宽)x7.05(长)x2.60(高)公尺2.基本薄膜规格◆规格产品:应用于触控式面板薄膜材料:光学硬化处理PET薄膜薄膜厚度:25~200um薄膜宽度:1,340mm镀膜宽度:1,300mm有效镀膜宽度:1,250mm薄膜长度(薄膜卷线直径):1,000M(Ø600mm)@188um结构:PET/SiO2/ITO第3页共7页第2页共7页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第3页共7页3.卷线系统◆组成薄膜速度范围:0.5~10m/min(step0.1m/min)薄膜速度稳定性:+0.1%(at10m/min)之内薄膜张力范围:24~180NLoadcell薄膜张力稳定性:+5N(在静止状况)之内工作速度:>3m/min薄膜速度方向:正常/反转卷线(3m/min)冷却系统温度:温度10℃~室温冷却时间:15min.@RoomTemp.10℃加热时间:15min.10℃RoomTemp.驱动马达:伺服马达系统(UW,MR,RW)滑行,凹陷,皱纹,刮伤:无薄膜移动:+0.5mm项目规格4.真空帮浦系统4.1主要帮浦系统Cryopump,2,400liter/sec:8ea机械boosterpump,30,000liter/min:2eaRotarypump,4,000liter/min:7eaPolycold100,000liter/sec(展开卷线区,阴极区):1ea4.2真空测量计单元Piranigauge:8eaBaratronvacuumgauge:4eaFullrangegauge:6ea第4页共7页第3页共7页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第4页共7页4.3气体供应单元MFCfor预处理:Argas/range1,000sccm:1eaO2gas/range200sccm:1eaMFCforITO溅镀:Argas/range1,000sccm:8eaO2gas/range200sccm:8eaMFCforSiO2溅镀:Argas/range1,000sccm:3eaO2gas/range200sccm:3eaO2gas/range50sccm:3ea5.预热单元◆组成卤素灯:Approx.12mmx1,450mm(L)...1setsPIDcontrolunit:PLCcontrol(temp.control)…1setsSCRunit:1Phase,110Vac,Approx,15KW温度范围:最大.200℃6.预处理单元6.1操作规格离子源型态:正极层离子加速器I…1ea离子能源:400~2,500eV正极电压:0.7~5KV放出电流:4.2mA/smslit离子电流:1.1~1.3A工作压力:5x10¯4torr代表气流:Ar:1,000sccm/O2:200sccm…1ea6.2水冷却最小水流:5liter/min最大进水温度:Min.15℃最大水阻:50kΩ-cm第5页共7页第4页共7页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第5页共7页项目规格7.溅镀系统7.1操作规格7.1.1电源ITO:PulseDC12KW…4setsSiO2:MF40KW…1set7.1.2靶材ITO:In203/SnO2(90/10wt%)SiO2:Sitarget7.1.3电力密度ITO:1~5W/c㎡SiO2:1~7W/c㎡7.1.4靶材尺寸:Approx.125mm(W)X1,650mm(L)X6mm(t)7.1.5靶材利用率:25~30%bothofSiandITO7.1.6阴极数量ITO:单磁阴极…4setsSiO2:双磁阴极…1set7.1.7工作压力:~2x10¯3torr7.1.8代表气流ITO:Ar:1,000sccm/O2:100sccmSiO2:Ar:1,000sccm/O2:100+50sccm7.2所有操作模式绝缘:>500V真空(Anode–Cathode-Ground)最大进水压力:3Kgf/c㎡最大进水温度:Min.15℃水阻:50kΩ-cm8.电子控制系统8.1接口方法机器–PLC:DigitalI/O,AnalogI/O,RS232C,RS485PLC–GUI(Touchscreen):MitsubishicontrollerPLC–PC:EthernetPLC–RemotePC:Ethernet(Option)8.2电子控制的优点第6页共7页第5页共7页编号：时间：2021年x月x...