电子束加工论文VIP免费

本科课程论文题目电子束加工的特点及其应用学院工程技术学院专业机械设计制造及其自动化年级2009学号222009322210154姓名肖先华指导教师邱兵成绩______________________第2页共9页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第2页共9页2011年12月10日目录摘要：..............................................................31概述：............................................................31.1加工原理：....................................................31.2电子束加工分类................................................41.2.1电子束热加工..............................................41.2.2电子束化学加工............................................42电子束加工的主要应用..............................................52.1电子束焊接....................................................52.2电子束蚀刻和电子束钻孔........................................52.3电子束熔炼....................................................52.4电子束“毛化”技术............................................63电子束加工的特点..................................................73.1电子束加工的主要优点..........................................74电子束加工的现状及发展前景........................................8参考文献............................................................8第3页共9页第2页共9页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第3页共9页电子束加工的特点及其应用作者：肖先华指导教师：邱兵摘要：电子束加工简称EBM，是以高能电子束流作为热源，对工件或材料实施特殊的加工，是一种完全不同于传统机械加工的新工艺。它们在精密微细加工方面，尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。随着科学技术的发展，电子束加工技术必将有一片广阔的应用前景。关键词：电子束原理应用发展前景1概述：1.1加工原理电子束加工是由德国的科学家K.H.施泰格瓦尔特于1948年发明的。其加工原理是在真空条件下,利用聚焦后能量密度极高的电子束,以极高的第4页共9页第3页共9页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第4页共9页速度冲击到工件表面极小的面积上,在很短的时间(几分之一微秒)内,其能量的大部分转变为热能,使被冲击部分的工件材料达到几千摄氏度以上的高温,从而引起材料的局部熔化和气化,被真空系统抽走的加工技术。其加工原理如图1所示。图1电子束加工原理由于电子束和气体分子碰撞时会产生能量损失和散射，因此，加工一般在真空中进行。电子束加工机由产生电子束的电子枪、控制电子束的聚束线圈、使电子束扫描的偏转线圈、电源系统和放置工件的真空室，以及观察装置等部分组成。先进的电子束加工机采用计算机数控装置，对加工条件和加工操作进行控制，以实现高精度的自动化加工。电子束加工机的功率根据用途不同而有所不同，一般为几千瓦至几十千瓦。1.2电子束加工分类按照电子束加工所产生的效应,可以将其分为两大类:电子束热加工和电子束非热加工。1.2.1电子束热加工电子束热加工是将电子束的动能在材料表面转化成热能,以实现对材料的加工,其中包括:1)电子束精微加工。可完成打孔、切缝和刻槽等工艺,这种设备一般都采用微机控制,并且常为一机多用；2)电子束焊接。与其他电子束加工设备不同之处在于,除高真空电子束焊机之外,还有低真空、非真空和局部真空等类型；3)电子束镀膜。可蒸镀金属膜和介质膜；4)电子束熔炼。包括难熔金属的精炼,合金材料的制造以及超纯单晶体的拉制等；第5页共9页第4页共9页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第5页共9页5)电子束热处理。包括金属材料的局部热处理以及对离子注入后半导体材料的退火等。上述各种电子束加工总称为高能量密度电子束加工。1.2.2电子束化学加工电子束化学加工又称作电子束非热加工是基于电子束的非热效应,利用功率密度比较低的电子束和电子胶(又称电子抗蚀剂,由高分子材料...