第1页共4页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第1页共4页2009-07招标设备清单序号设备名称数量技术参数备注1扫描电子显微镜1见附件进口2透射电子显微镜1见附件进口3冷冻超薄切片机1见附件进口附件:1、扫描电子显微镜(进口)场发射扫描电子显微镜主要用于材料表面的微观形貌的高分辨观察,可配备X射线能谱仪等附件,可同时进行微区的成分分析,应具有配备X射线能谱仪系统等的相应安装接口
技术参数1、分辨率:二次电子图像:1
0nm(15kV),1
4nm(1kV)背散射电子像:3
0nm(15kV)2、加速电压:0
1-30KV连续可调3、束流范围:1pA~2nA连续可调4、放大倍率25X–1,000,000X;5、真空度:电子枪室高真空10-7Pa样品室真空10-4Pa6、泵系统:磁悬浮分子泵、离子泵和机械泵7、电子光学系统电子枪:高稳定性场发射电子源,能自动合轴调整聚光镜:电磁透镜会聚系统,束流强度可连续可调;光阑角度控制透镜控制束斑尺寸物镜光阑:X/Y方向精细可调对中电图像位移:±5µm,可通过控制电子束移动实现8、样品室和样品台样品台:5轴马达驱动全对中样品台,示意图在监视器上显示样品台尺寸可装直径不小于150mm的样品行程:X=70mm,Y=50mm,Z=1
5-25mm倾斜-5°-+70°旋转360°样品更换:快速气锁更换样品(直径最大150mm)9、附件接口:样品室提供包括二次电子探测器、背散射电子探测器
10、探测器及成像系统第2页共4页第1页共4页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第2页共4页高位和低位二次电子探测器:二次电子像背散射电子探测器:纯成份像和形貌像成像模式:同时得到二次电子像、背散射电子像二次电子和背散射电子混合信号图像,且其相对含量连续可调11、扫描电镜计算机系统操作系统Window