材料重点科技项目申报材料为加快先进制造、先进材料领域科技发展,提升创新能力,围绕国家和*的中长期科技发展规划、“*”科技发展规划以及《*科技创新行动计划》,开展以应用为导向、以企业为主体的关键技术及产业化研究,*市科学技术委员会特发布本指南
一、研究目标与内容专题一、先进制造面向先进制造业,聚焦集成电路、数控装备、海洋工程与交通运输等领域,支持具有自主知识产权的关键技术和产业化技术的开发,实现相关产业核心技术的突破,提升自主创新能力和产业竞争力
1、集成电路制造相关装备及材料关键技术研究研究目标
围绕极大规模集成电路制造相关装备和材料开展关键技术研究,掌握具有自主知识产权的核心技术,形成工艺装备的研发应用能力和关键材料的批量生产能力,加快实现工艺装备和关键材料的国产化
150mm硅片光学薄膜测量设备的研制与应用技术;前段单晶圆清洗设备的设计制造及清洗成套工艺技术;纳米级精度定位的三轴平面电机的设计、制造、驱动控制技术及系统集成技术;基于soi技术的高压器件成套技术和高压soi晶片批量生产制备技术;年产千吨级的高纯有机化学试剂生产工艺技术;65纳米及以下ulsi用铜化学机械抛光液的中试生产工艺技术
2、数字化装备产品设计制造关键技术研究研究目标
围绕数控机床、纺织机械及高效压缩机等高端数字化装备产品的设计制造,开展旨在提高产品精度、效率和运行可靠性的关键技术研究,掌握具有自主知识产权的核心技术,提高数字化装备产品的市场竞争能力
基于实时工业以太网及现场总线的中高档数控系统和高性能数字化交流伺服驱动系统工程化开发技术研究,大型数控装备远程监控、网络化数据管理及大型复杂部件加工工艺研究;纺织产业用高性能喷气织机及高速卷绕机的设计制第1页共5页造关键技术研究;全封闭二氧化碳热泵压缩机的设计优化技术,压缩机泵体和驱动电机的匹配技术研究
3、轨道交通运输装备关键技术