高亮度發光二極體報告者:周建樺林煥智學號:94554579455455綱要發光二極體之簡介發光二極體之結構發光二及體之製程發光二極體之分類發光二極體之優缺點發光二極體之應用範圍發光二極體之發展趨勢結論發光二極體簡介發光二極體(LightEmittingDiode;LED)是一種冷光發光元件,其發光原理,是在III-V族半導體材料(GaN、GaP、GaAs等材料系)上施加電流,利用二極體內電子與電洞互相結合而產生光,當能量轉換為光的形式釋出時便可發光發光二極體基本結構P-typelayerGaN(Mg)ActivelayerN-typelayerGaN(Si)BufferlayerSapphire發光二極體之製程晶圓清洗薄膜沈積第一道光罩MESADry-etching化學蝕刻蒸鍍金屬Ni/Au高溫活化第二道光罩TCL蒸鍍金屬TiAlNiAu第三道光罩N-PAD化學蝕刻第四道光罩P-PAD化學蝕刻Lift-off薄膜沈積第五道光罩Passivation化學蝕刻Lapping&Cutting晶粒篩選蒸鍍金屬TiAlTiAu薄膜沈積ActivelayerSiOxmaskP-TYPEN-TYPESapphire製程目的利用金屬或其他材料阻擋乾蝕刻對P-TYPE的傷害Dryetching(RIE)ActivelayerSiOxmaskP-TYPEN-TYPESapphire製程目的利用活性離子蝕刻機(ReactiveIonEtching)定義發光區域AfterRIE(NOmask)ActivelayerP-TYPEN-TYPESapphire製程目的將晶片表面作清潔及去氧化物,清除殘餘的MASKTransparentContactLayerActivelayerP-TYPEN-TYPESapphireTCL製程目的蒸鍍金屬NiAu均勻擴散電