ESD防护的原理及应用ESD防护的原理及应用•ESD的概念•ESD之三种模式•静电的概念•静电的危害•静电的影响因素•静电源•为什么要做ESD防护•静电防护有关专有名词和符号•如何进行有效的静电防护?•如何进行有效的静电防护?•ANSI/ESDS20.20之摘要•ANSI/ESDS20.20之建议•ANSI/ESDS20.20之要求•离子化静电消除•ESD防护之注意事项•ESD（ElectroStaticDischarge）静电放电：静电出现后，如果没有及时宣泄或消除，便可能因直接接触或感应而产生放电，形成静电放电。晚上脱衣服,有时会看到小小的电花;碰到金属或者人时,会有被电的感觉;风雨交加的天空,时不时的出现的闪电;这都是静电放电现象,它无处不在,有的可以被我们看到或者感觉到,但有的静电放电我们无法捕捉.•ESD（ElectroStaticDischarge）静电放电：静电出现后，如果没有及时宣泄或消除，便可能因直接接触或感应而产生放电，形成静电放电。晚上脱衣服,有时会看到小小的电花;碰到金属或者人时,会有被电的感觉;风雨交加的天空,时不时的出现的闪电;这都是静电放电现象,它无处不在,有的可以被我们看到或者感觉到,但有的静电放电我们无法捕捉.ESD的概念ESD之三种模式•人体模式（HBM:HumanBodyModel）由指尖放电至静电敏感物.人体活动时,与衣服摩擦产生静电,当静电得不到及时有效宣泄,在拿取静电敏感物时就会由指尖放电至敏感物,微電子器件的主要破壞都是由此型式造成的.•机器模式(MM:MachineModel)带电导体放电至静电敏感物.快速的能量传遁,没有串联电阻而直接进入待测元器件,对其造成伤害,此模式近似一个电压源.•充电装置模式(CDM:ChargeDeviceModel)静电敏感物放电至周围物件.元器件本身已经带电,当它接触到不同电位的金属表面而出现快速的放电.•人体模式（HBM:HumanBodyModel）由指尖放电至静电敏感物.人体活动时,与衣服摩擦产生静电,当静电得不到及时有效宣泄,在拿取静电敏感物时就会由指尖放电至敏感物,微電子器件的主要破壞都是由此型式造成的.•机器模式(MM:MachineModel)带电导体放电至静电敏感物.快速的能量传遁,没有串联电阻而直接进入待测元器件,对其造成伤害,此模式近似一个电压源.•充电装置模式(CDM:ChargeDeviceModel)静电敏感物放电至周围物件.元器件本身已经带电,当它接触到不同电位的金属表面而出现快速的放电.静电的概念•物质表面的正/负电荷分离所产生的电位。物质分为导电体、半导体、绝缘体三种，这三中物质都会因摩擦及空气中相对湿度的不同而产生不同程度的静电。•物质表面的正/负电荷分离所产生的电位。物质分为导电体、半导体、绝缘体三种，这三中物质都会因摩擦及空气中相对湿度的不同而产生不同程度的静电。静电的危害•静电影响产品的良率和品质!谁希望被闪电打中?当然,电子元件也不希望!半导体被破坏59%是由静电引致的!ESD的最大伤害不是立即将产品打坏(10%完全失去功能),而是将产品变成”危险良品”的半不良品(90%间歇性失去功能).•静电导致ESA(ElectrostaticAttraction)、EMI(ElectromagneticInterference)致命现象!-CleanRoom最怕的是ESA导致的表面污染物(Contamination),一个4英寸晶圆负载1000V电荷时,1micron的微粒撞击可产生撞击力达830000磅/平方英寸或148公吨/平方公分,远超过使晶圆受损的程度.(资料来源:美国静电防护协会)-电流产生电磁场，它会干扰机器的正常运作！•静电影响产品的良率和品质!谁希望被闪电打中?当然,电子元件也不希望!半导体被破坏59%是由静电引致的!ESD的最大伤害不是立即将产品打坏(10%完全失去功能),而是将产品变成”危险良品”的半不良品(90%间歇性失去功能).•静电导致ESA(ElectrostaticAttraction)、EMI(ElectromagneticInterference)致命现象!-CleanRoom最怕的是ESA导致的表面污染物(Contamination),一个4英寸晶圆负载1000V电荷时,1micron的微粒撞击可产生撞击力达830000磅/平方英寸或148公吨/平方公分,远超过使晶圆受损的程度.(资料来源:美国静电防护协会)-电流产生电磁场，它会干扰机器的正常运作！静电的影响因素•湿度大约40%R.H.或更低湿度,便容易形成严重静电问题•湿度大约40%R.H.或更低湿度,便容易形成严重静电问题静电源•人员：坐立、移动...
