第6章压电式传感器等效电路及测量电路1.2第6章压电式传感器压电效应及材料6.16.26.3压电传感器的应用第一节压电效应某些电介质,当沿着一定方向对其施力而使它变形时,其内部就产生极化现象(内部正负电荷中心相对位移),同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷,当外力去掉后,其又重新恢复到不带电状态,这种现象称压电效应。当作用力方向改变时,电荷的极性也随之改变。这种机械能转换为电能的现象,称为“正压电效应”。压电效应压电效应--定义某些电介质(晶体),当沿着一定方向对其施力而使它变形时,内部就产生极化现象,同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷,当外力去掉后,又重新恢复不带电状态,这种现象称压电效应。压电效应--分类正压电效应:当作用力方向改变时,电荷的极性也随之改变,常把这种机械能转换为电能的现象称正压电效应(或顺压电效应)。逆压电效应:当在电介质极化方向上施加电场,这些电介质也会在产生几何变形,当外加电场撤去时,这些变形也随之消失,这种将电能转化成机械能的现象称逆压电效应(或称电致伸缩效应)。压电效应具有可逆性,利用这一特性可以实现机械能和电能的相互转换。压电效应--特性压电元件机械能电能逆压电效应正压电效应压电晶体:如石英等;压电陶瓷:如钛酸钡、锆钛酸铅等;新型压电材料:压电半导体(如硫化锌、碲化镉等)高分子压电材料。自然界中大多数晶体都具有压电效应,但压电效应十分微弱压电材料--分类分类具有压电效应的材料称为压电材料。石英是单晶体,具有规则的几何外形,其形状为六角形晶柱,两端呈六棱锥形状。二、石英晶体Z轴(光轴),是晶体的对称轴,用光学方法确定,作为基准轴。X轴(电轴),经过正六棱柱相对的两个棱线,且垂直于光轴,该轴压电效应最显著。Y轴(机械轴),垂直于两个相对的表面,在此轴上加力产生的变形最大。石英晶体压电效应机理石英晶体:SiO2代表硅离子Si4++“”代表硅离子2O2–_“”当石英晶体没有受到外力作用时:1230PPP正负电荷中心重合晶体表面不产生电荷,呈电中性。1.当石英晶体在X轴方向上受到压力时:结果:123()0xPPP123()0yPPPA面上呈现负电荷B面上呈现正电荷这种沿X轴施加力,而在垂直于X轴的晶面上产生电荷的现象,就是“纵向压电效应”。123()0zPPP2.当石英晶体在Y轴方向上受到压力时:结果:123()0xPPP123()0yPPPA面上呈现正电荷B面上呈现负电荷这种沿Y轴施加力,而在垂直于X轴的晶面上产生电荷的现象,就是“横向压电效应”。123()0zPPP3.当石英晶体在Z轴方向上受到压力时:123()0xPPP123()0yPPP123()0zPPP正负电荷始终中心重合,所以晶体表面无电荷产生。沿Z轴方向施加外力,石英晶体不产生压电效应。纵向压电效应横向压电效应表面电荷的计算问题有一石英晶体,其长度为5mm,宽度为4mm,厚度为10mm,当受到压力P=10MPa作用时,求在纵向压电效应的压缩力作用下产生的电荷量。(d=2.31PC/N)xxbbzyyaacxxbbzyyaac当沿X轴施加作用力时,晶片产生厚度变形,并在与x轴垂直的平面上产生电荷,且电荷密度与应力成正比:11xxQdF——x轴方向受力的压电系数;11dxxbbzyyaac沿y轴施加作用力时,晶片产生长度变形,并在与x轴垂直的平面上产生电荷,且电荷密度与应力成正比:12yyaQdFb——y轴方向受力的压电系数;12d1211dd晶片厚度晶片厚度xxFdq11yyyFbadFbadq1112结论:①当晶片受到x方向的压力作用时,qx只与作用力Fx成正比,而与晶片的尺寸无关;②沿机械轴y方向向晶片施加压力时,产生的电荷与几何尺寸有关;③石英晶体不是在任何方向都存在压电效应的;④晶体在哪个方向上有正压电效应,则在此方向上一定存在逆压电效应;⑤无论是正或逆压电效应,其作用力(或应变)与电荷之间皆呈线性关系。压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料,它比石英晶体的压电灵敏度高得多,而制造成本却较低,因此目前国内外生产的压电元件绝大多数都采用压电陶瓷。常用的压电陶瓷材料有锆钛酸铅系列压电陶瓷(PZT)及非铅系压电陶瓷(如BaTiO3等)。压电陶瓷产品压电陶瓷的压电效应压...