AGREATERMEASUREOFCONFIDENCEawww.keithley.comKEITHLEYCONFIDENTIAL–PROPRIETARY©Copyright2004KeithleyInstruments,Inc.14200-SCS半导体特性分析系统介绍•4200-SCS产品主要应用领域•4200-SCS系统介绍AGREATERMEASUREOFCONFIDENCEawww.keithley.comKEITHLEYCONFIDENTIAL–PROPRIETARY©Copyright2004KeithleyInstruments,Inc.24200-SCS半导体特性分析系统主要应用领域•半导体材料和器件的研发—传统的半导体和微电子专业•器件和工艺的参数监控—半导体工艺线，生产•器件的建模（Modeling)—半导体器件的设计，集成电路的设计•可靠性和寿命测试—半导体器件可靠性研究•高功率MOSFET，BJT和III-V族器件（GaN，GaAs)的特性分析•纳米器件研究；•光电子器件的研究（LED，OLED等）；•非易挥发性存储器测试—Flash闪存，相变存储器（PRAM），铁电存储器（FeRAM)，阻变存储器（RRAM)等；•有机半导体特性分析•太阳能电池及光伏电池特性分析AGREATERMEASUREOFCONFIDENCEawww.keithley.comKEITHLEYCONFIDENTIAL–PROPRIETARY©Copyright2004KeithleyInstruments,Inc.3产品介绍—前面板•4200-SCS/F半导体特性分析系统的前面板具有一个12英寸的超清晰分辨率（1024×768）的液晶显示器，具有可刻录的DVD光驱，磁盘驱动器，USB接口，键盘和鼠标。•具有工业级，基于GUI的Windows视窗界面，将系统设置集成时间降低到了最小；•将工业级控制器和另外的RAM集成在一起，确保了高的测试速度，加强了系统的坚固性，稳定性和安全性；2000年年底推向市场，全球第一家将WindowsGUI界面和测量仪器有机地结合在仪器•具有计算机大容量硬盘，可立即存储测试过程和数据结果；•可刻录的DVD光驱可以进行大容量的数据备份和传输；•带有4个USB接口可迅速地与外围设备进行通信。AGREATERMEASUREOFCONFIDENCEawww.keithley.comKEITHLEYCONFIDENTIAL–PROPRIETARY©Copyright2004KeithleyInstruments,Inc.4产品介绍—后面板•4200-SCS半导体特性分析系统的后面板是系统的主要组成部分，从左至右看，可分成计算机部分和仪器测量部分。计算机部分包括标准的10/100以太网接口，RS-232接口，并行打印机接口（内置100多种常用打印机驱动程序），SVGA显示器接口，USB接口等；仪器测量部分则包括9个基于PCI总线的插槽，可插入2-8个SMU（源测量单元），可插入双通道脉冲发生器和示波器插卡（支持脉冲I-V测量），带有远端感应功能的低噪声地单元，GPIB接口等；•将仪器测量部分与计算机部分组成了一个完整有机的整体，使得用户在仪器安装和调试的时间降低到了最小；•PCI总线插槽的结构可以使得用户将测量通道的数量从2个扩展至8个，从直流I-V测试扩展到脉冲I-V测试；•每个SMU通道都具有独立的22位分辨率的A/D转换器，保证了测试精度；AGREATERMEASUREOFCONFIDENCEawww.keithley.comKEITHLEYCONFIDENTIAL–PROPRIETARY©Copyright2004KeithleyInstruments,Inc.5产品介绍—典型配置•4个高分辨率SMU单元；（可测试4端口MOSFET器件）•4个电流前置放大器单元；（电流可分辨到0.1fA，电流精度10fA)•1个CVU（电容—电压测量单元）；•1套完整的脉冲I-V（4225-PMU）测量单元；AGREATERMEASUREOFCONFIDENCEawww.keithley.comKEITHLEYCONFIDENTIAL–PROPRIETARY©Copyright2004KeithleyInstruments,Inc.6产品介绍—I-V特性测量•4200-SCS系统实现I-V测量功能的核心单元是SMU（源测量单元）；•SMU集4种功能于一体：电压源、电压表、电流源、电流表；•可以向器件提供驱动电压同时测量电流，也可以向器件提供电流并测量电压；•图形化的KITE软件可以轻松地设定测试条件，设定电压或电流，被测点数，•保护电压或电流值，完成各种I-V参数测试；•SMU的数量与被测器件的端口数有关，原则上有几个端口，就要配几个SMU。AGREATERMEASUREOFCONFIDENCEawww.keithley.comKEITHLEYCONFIDENTIAL–PROPRIETARY©Copyright2004KeithleyInstruments,Inc.7产品介绍—四探针电阻率测量半导体材料研究和器件测试经常需要确定样品的电阻率和Hall载流子浓度。半导体材料的电阻率主要取决于体掺杂。在一个半导体器件中，电阻率能够影响...
